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1. (WO2018066286) BEAM SCANNING DEVICE AND PATTERN DRAWING DEVICE
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Pub. No.:    WO/2018/066286    International Application No.:    PCT/JP2017/031737
Publication Date: 12.04.2018 International Filing Date: 04.09.2017
IPC:
G02B 26/12 (2006.01), G02B 26/10 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
Inventors: KATO Masaki; (JP).
KITO Yoshiaki; (JP)
Agent: CHIBA Yoshihiro; (JP).
MIYADERA Toshiyuki; (JP).
SENBA Takayuki; (JP).
OUCHI Hideharu; (JP).
NAKASONE Yasuharu; (JP).
SAKAI Shiro; (JP).
SEKIGUCHI Kosuke; (JP).
YAMANO Akira; (JP)
Priority Data:
2016-196438 04.10.2016 JP
Title (EN) BEAM SCANNING DEVICE AND PATTERN DRAWING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE BALAYAGE DE FAISCEAU ET DISPOSITIF DE DESSIN DE MOTIF
(JA) ビーム走査装置およびパターン描画装置
Abstract: front page image
(EN)A drawing unit (Un) is provided with an fθ lens system (FT) on which a processing beam (LBn) deflected by a reflective surface (RP) of a polygon mirror (PM) having a variable angle becomes incident, and which condenses the processing beam (LBn) on a substrate (P) as a spot light (SP). The spot light (SP) is scanned in accordance with the change in the angle of the reflective surface (RP) of the polygon mirror (PM). The drawing unit (Un) is provided with: a beam transmission part (60a) which projects, on the reflective surface (RP) of the polygon mirror (PM), a beam (Bga) for detecting a starting point at which the reflective surface (RP) of the polygon mirror (PM) has a prescribed angle; a reflecting mirror (MRa) on which the beam (Bgb) reflected by the reflective surface (RP) becomes incident, and which reflects said beam towards the reflective surface (RP); and a detection unit (60b) which outputs a starting point signal (SZn) on the basis of the beam (Bgd) reflected again by the reflective surface (RP).
(FR)Une unité de dessin (Un) est pourvue d'un système de lentille fθ (FT) sur lequel un faisceau de traitement (LBn) dévié par une surface réfléchissante (RP) d'un miroir polygonal (PM) ayant un angle variable devient incident, et qui condense le faisceau de traitement (LBn) sur un substrat (P) sous la forme d'une lumière ponctuelle (SP). La lumière ponctuelle (SP) est balayée en fonction du changement de l'angle de la surface réfléchissante (RP) du miroir polygonal (PM). L'unité de dessin (Un) comprend: une partie de transmission de faisceau (60a) qui projette, sur la surface réfléchissante (RP) du miroir polygonal (PM), un faisceau (Bga) pour détecter un point de départ auquel la surface réfléchissante (RP) du miroir polygonal (PM) a un angle prescrit; un miroir réfléchissant (MRa) sur lequel le faisceau (Bgb) réfléchi par la surface réfléchissante (RP) devient incident, et qui réfléchit ledit faisceau vers la surface réfléchissante (RP); et une unité de détection (60b) qui émet un signal de point de départ (SZn) sur la base du faisceau (Bgd) réfléchi à nouveau par la surface réfléchissante (RP).
(JA)描画ユニット(Un)は、角度可変のポリゴンミラー(PM)の反射面(RP)で偏向された加工用のビーム(LBn)を入射して、基板(P)に加工用のビーム(LBn)をスポット光(SP)として集光するfθレンズ系(FT)を備え、ポリゴンミラー(PM)の反射面(RP)の角度変化に応じてスポット光(SP)を走査する。描画ユニット(Un)は、ポリゴンミラー(PM)の反射面(RP)が所定角度になる原点を検出するためのビーム(Bga)をポリゴンミラー(PM)の反射面(RP)に投射するビーム送光部(60a)と、反射面(RP)で反射したビーム(Bgb)を入射して、反射面(RP)に向けて反射する反射ミラー(MRa)と、反射面(RP)で再度反射したビーム(Bgd)に基づいて、原点信号(SZn)を出力する検出部(60b)と、を備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)