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1. (WO2018065157) ATHERMALIZATION OF AN ALIGNMENT SYSTEM
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Pub. No.: WO/2018/065157 International Application No.: PCT/EP2017/072092
Publication Date: 12.04.2018 International Filing Date: 04.09.2017
IPC:
G03F 9/00 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
ASML HOLDING N.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors: COSIJNS, Suzanne, Johanna, Antonetta, Geertruda; NL
VAN DER HEIJDEN, Maarten; NL
DE VREEDE, Frederikus, Johannes, Maria; NL
TAUB, David; US
EMERY, Eric; US
FRANKLIN, Joseph, Ashwin; US
Agent: SLENDERS, Peter; NL
Priority Data:
62/403,95904.10.2016US
Title (EN) ATHERMALIZATION OF AN ALIGNMENT SYSTEM
(FR) ATHERMALISATION D'UN SYSTÈME D'ALIGNEMENT
Abstract: front page image
(EN) An alignment system configured to be substantially insensitive to thermal variations in its system during alignment measurements. The alignment system includes a sensor system, a support structure, a sensing element, a position measurement system, and an athermal interface between the sensing element and the support structure. The sensor system is configured to determine a position of an alignment mark on a substrate and the support structure is configured to support the sensor system. The sensing element is configured to detect an unintentional displacement of the support structure and the position measurement system is configured to measure the unintentional displacement relative to a reference element based on the detected unintentional displacement. The athermal interface is configured to prevent detection of temperature induced displacement of the support structure by the sensing element.
(FR) La présente invention a trait à un système d'alignement conçu pour être pratiquement insensible aux variations thermiques dans son système pendant des mesures d'alignement. Le système d'alignement comprend un système de capteur, une structure de support, un élément de détection, un système de mesure de position, et une interface athermique entre l'élément de détection et la structure de support. Le système de capteur est conçu pour déterminer une position d'un repère d'alignement sur un substrat, et la structure de support est prévue pour porter ledit système de capteur. L'élément de détection est destiné à détecter un déplacement involontaire de la structure de support, et le système de mesure de position est conçu pour mesurer le déplacement involontaire par rapport à un élément de référence sur la base du déplacement involontaire détecté. L'interface athermique est prévue pour empêcher la détection d'un déplacement induit par la température de la structure de support par l'élément de détection.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)