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1. (WO2018063874) PROBE SYSTEMS AND METHODS
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Pub. No.: WO/2018/063874 International Application No.: PCT/US2017/052405
Publication Date: 05.04.2018 International Filing Date: 20.09.2017
IPC:
G01R 1/067 (2006.01) ,G01R 31/28 ,G01R 1/073 (2006.01)
Applicants: CASCADE MICROTECH, INC.[US/US]; 9100 SW Gemini Drive Beaverton, OR 97008, US
Inventors: FISHER, Gavin, Neil; GB
THAERIGEN, Thomas, Reiner; DE
MCCANN, Peter; US
JONES, Rodney; US
DUCKWORTH, Koby, L.; US
Agent: D'ASCENZO, David, S.; US
Priority Data:
15/708,68119.09.2017US
62/400,97828.09.2016US
Title (EN) PROBE SYSTEMS AND METHODS
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE SONDE
Abstract: front page image
(EN) Probe systems and methods are disclosed herein. The methods include directly measuring a distance between a first manipulated assembly and a second manipulated assembly, contacting first and second probes with first and second contact locations, providing a test signal to an electrical structure, and receiving a resultant signal from the electrical structure. The methods further include characterizing at least one of a probe system and the electrical structure based upon the distance. In one embodiment, the probe systems include a measurement device configured to directly measure a distance between a first manipulated assembly and a second manipulated assembly. In another embodiment, the probe systems include a probe head assembly including a platen, a manipulator operatively attached to the platen, a vector network analyzer (VNA) extender operatively attached to the manipulator, and a probe operatively attached to the VNA extender.
(FR) L'invention concerne des systèmes et des procédés de sonde. Les procédés consistent à mesurer directement une distance entre un premier ensemble manipulé et un second ensemble manipulé, mettre en contact des première et seconde sondes avec des premier et second emplacements de contact, fournir un signal de test à une structure électrique et recevoir un signal résultant de la structure électrique. Les procédés consistent en outre à caractériser un système de sonde et/ou la structure électrique sur la base de la distance. Dans un mode de réalisation, les systèmes de sonde comprennent un dispositif de mesure conçu pour mesurer directement une distance entre un premier ensemble manipulé et un second ensemble manipulé. Dans un autre mode de réalisation, les systèmes de sonde comprennent un ensemble tête de sonde comprenant une platine, un manipulateur fixé de manière fonctionnelle à la platine, un dispositif d'extension d'analyseur de réseau vectoriel (VNA) fixé de manière fonctionnelle au manipulateur, et une sonde fixée de manière fonctionnelle au dispositif d'extension de VNA.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)