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1. (WO2018063145) HIGH OVER-PRESSURE CAPABLE SILICON DIE PRESSURE SENSOR
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Pub. No.:    WO/2018/063145    International Application No.:    PCT/US2016/053890
Publication Date: 05.04.2018 International Filing Date: 27.09.2016
IPC:
G01L 9/00 (2006.01), G01L 19/06 (2006.01)
Applicants: ROSEMOUNT INC. [US/US]; 6021 Innovation Boulevard Shakopee, Minnesota 55379 (US)
Inventors: WILLCOX, Charles R.; (US).
MEYER, Nicholas, E.; (US)
Agent: CHAMPLIN, Judson K.; (US).
KAUL, Brian, D.; (US).
MAGEE, Theodore, M.; (US).
WESTMAN, Nickolas, E.; (US).
CHAMPLIN, Judson, K.; (US)
Priority Data:
Title (EN) HIGH OVER-PRESSURE CAPABLE SILICON DIE PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION DE PUCE EN SILICIUM CAPABLE DE SUPPORTER UNE HAUTE SURPRESSION
Abstract: front page image
(EN)A sensor (200) includes a diaphragm (202) having a bonding portion and a main boss separated from the bonding portion (250, 252) by at least one channel, the main boss (205) having a first side face, a second side face and a chamfered corner face connecting the first side face to the second side face. A base (203) of the sensor has a first contact area (207) aligned with the main boss (205) and separated from the main boss (205), wherein the bonding portion (250, 252) of the diaphragm is bonded to the base. At least one sensing element senses movement of the diaphragm (202).
(FR)L'invention concerne un capteur (200) comprenant un diaphragme (202) ayant une partie de liaison et un bossage principal séparé de la partie de liaison (250, 252) par au moins un canal, le bossage principal (205) ayant une première face latérale, une seconde face latérale et une face de coin chanfreinée reliant la première face latérale à la seconde face latérale. Une base (203) du capteur a une première zone de contact (207) alignée avec le bossage principal (205) et séparée du bossage principal (205), la partie de liaison (250, 252) du diaphragme étant liée à la base. Au moins un élément de détection détecte le mouvement du diaphragme (202).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)