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1. (WO2018062861) LIGHT SOURCE MODULE UNIT FOR EXPOSURE AND EXPOSURE DEVICE HAVING SAME
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Pub. No.:    WO/2018/062861    International Application No.:    PCT/KR2017/010739
Publication Date: 05.04.2018 International Filing Date: 27.09.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: BLUEKORE COMPANY [KR/KR]; (Dujeongdong, Hoemyeong building) 503, 95-10, Oseongro, Seobuk-gu Cheonan-si Chungcheongnam-do 31106 (KR)
Inventors: CHO, Nam Jik; (KR).
IN, Chi Eok; (KR).
PARK, Jong Won; (KR).
SONG, Woo Ree; (KR).
JUNG, Hae Il; (KR)
Agent: NEIT INTERNATIONAL PATENT LAW FIRM; (Yeoksam-dong, Hana Building),#401, 122, Yeoksam-ro, Gangnam-gu Seoul 06251 (KR)
Priority Data:
10-2016-0124076 27.09.2016 KR
Title (EN) LIGHT SOURCE MODULE UNIT FOR EXPOSURE AND EXPOSURE DEVICE HAVING SAME
(FR) UNITÉ DE MODULE DE SOURCE DE LUMIÈRE DESTINÉE À UNE EXPOSITION ET DISPOSITIF D'EXPOSITION PRÉSENTANT LADITE UNITÉ DE MODULE DE SOURCE DE LUMIÈRE
(KO) 노광용 광원모듈 유닛 및 그 광원모듈 유닛이 구비된 노광장치
Abstract: front page image
(EN)A light source module unit for exposure is disclosed. The disclosed light source module unit for exposure comprises: a light source panel having multiple ultraviolet light-emitting elements configured in an array structure; and an optical panel having a plurality of unit condensing lenses integrated on a light-transmitting panel, which is arranged on the light emission side of a light-emitting element, in an integrated array arrangement structure such that the unit condensing lenses are biased from positions in which the same correspond to unit light-emitting elements, respectively, toward a specific reference center axis, which extends through center of the ultraviolet light-emitting element array, with reference to a main optical axis, thereby constituting a matrix-type array structure. Each unit condensing lens has a light incident surface formed in the shape of one selected from a planar surface, a concave surface having a curvature (R) of (-)0.15 or less, and a convex surface having a curvature (R ) of (+)0.15 or less. Each unit condensing lens has a light emission surface formed as a convex lens. The unit condensing lenses are arranged such that the distance (c1) of spacing between the ultraviolet light-emitting elements and the unit condensing lenses satisfies the value of C1/d<0.5 with regard to the diameter (d) of the condensing lenses.
(FR)L'invention concerne une unité de module de source de lumière destinée à une exposition. L'unité de module de source de lumière de l'invention destinée à une exposition comprend : un panneau de source de lumière présentant de multiples éléments électroluminescents configurés dans une structure de réseau ; et un panneau optique présentant une pluralité de lentilles de condensation unitaires intégrées sur un panneau de transmission de lumière, qui est agencé sur le côté électroluminescent d'un élément électroluminescent, dans une structure d'agencement de réseau intégré de telle sorte que les lentilles de condensation unitaires sont polarisées à partir de positions dans lesquelles les mêmes correspondent à des éléments électroluminescents unitaires, respectivement, vers un axe central de référence spécifique, qui s'étend à travers le centre du réseau d'éléments électroluminescents ultraviolets, en référence à un axe optique principal, constituant ainsi une structure de réseau de type matrice. Chaque lentille de condensation unitaire présente une surface d'incidence de lumière formée sous la forme d'une surface sélectionnée à partir d'une surface plane, une surface concave présentant une courbure (R) de (-) 0,15 ou moins, et une surface convexe présentant une courbure (R) de (+) 0,15 ou moins. Chaque lentille de condensation unitaire présente une surface électroluminescente prend la forme d'une lentille convexe. Les lentilles de condensation unitaires sont agencées de sorte que la distance (c1) d'espacement entre les éléments électroluminescents ultraviolets et les lentilles de condensation unitaires satisfait la valeur de C1/d<0.5 par rapport au diamètre (d) des lentilles de condensation.
(KO)노광용 광원모듈 유닛이 개시되어 있다. 이 개시된 노광용 광원모듈 유닛은 다수의 자외선 발광 소자가 어레이 구조로 이루어진 광원 패널과, 발광 소자의 광출사측에 배치되는 투광 패널에 일체형 어레이 배열 구조로 집적화된 복수의 단위 집광 렌즈가 단위 발광 소자에 각각 대응되는 위치에서 주광축에 대해 자외선 발광소자 어레이의 중심을 지나는 임의의 기준 중심축선 측으로 편심된 상태의 매트릭스 형태의 어레이 구조로 이루어진 광학 패널을 포함하며, 단위 집광 렌즈는 광 입사면이 평면과, (-)0.15 이내의 곡률(R)을 가지는 오목면 및 (+)0.15 이내의 곡률(R)을 가지는 볼록면 중에서 선택된 어느 하나의 형태로 형성되는 동시에 광 출사면은 볼록 렌즈로 형성되고, 외선 발광 소자와 단위 집광 렌즈의 이격 거리(C1))는 집광 렌즈의 직경(d)에 대하여 C1/d<0.5의 값을 만족하도록 배열되는 구성을 가진다.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Korean (KO)
Filing Language: Korean (KO)