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1. (WO2018061321) THREE-DIMENSIONAL SHAPE, DISPLACEMENT, AND STRAIN MEASUREMENT DEVICE AND METHOD USING PERIODIC PATTERN, AND PROGRAM THEREFOR
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Pub. No.:    WO/2018/061321    International Application No.:    PCT/JP2017/020435
Publication Date: 05.04.2018 International Filing Date: 01.06.2017
IPC:
G01B 11/16 (2006.01), G01B 11/25 (2006.01), G01J 9/02 (2006.01), G01N 21/45 (2006.01)
Applicants: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP/JP]; 3-1, Kasumigaseki 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008921 (JP)
Inventors: WANG Qinghua; (JP).
RI Shien; (JP).
TSUDA Hiroshi; (JP)
Priority Data:
2016-188217 27.09.2016 JP
Title (EN) THREE-DIMENSIONAL SHAPE, DISPLACEMENT, AND STRAIN MEASUREMENT DEVICE AND METHOD USING PERIODIC PATTERN, AND PROGRAM THEREFOR
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME TRIDIMENSIONNELLE, DE DÉPLACEMENT ET DE CONTRAINTE UTILISANT UN MOTIF PÉRIODIQUE, ET PROGRAMME ASSOCIÉ
(JA) 周期模様を利用した三次元形状・変位・ひずみ測定装置、方法およびそのプログラム
Abstract: front page image
(EN)In a conventional moire method, achieving both measurement accuracy and dynamic measurement and balancing field of view and measurement accuracy have been difficult. The present invention makes it possible to handle conventional moire fringes as a grating for generating phase-shifted second-order moire fringes, use a spatial phase shift method algorithm to accurately analyze the phases of the second-order moire fringes before and after deformation, and determine shape from the phase differences between gratings projected onto the surface of an object of measurement and a reference surface and determine deformation and strain from the phase differences between the second-order moire fringes, before and after deformation, of a repeating pattern on the object surface or a produced grating. As a result, it is possible to measure the three-dimensional shape and deformation distribution of an object accurately and with a wide field of view or dynamically and with a high degree of accuracy.
(FR)Dans un procédé de moiré classique, il était difficile d'obtenir à la fois une précision de mesure et une mesure dynamique et d'équilibrer le champ de vision et la précision de mesure. La présente invention permet de gérer des franges de moiré classiques en tant que réseau pour générer des franges de moiré de second ordre à décalage de phase, d'utiliser un algorithme de procédé de décalage de phase dans l'espace pour analyser avec précision les phases des franges de moiré de second ordre avant et après la déformation, et de déterminer la forme à partir des différences de phase entre les réseaux projetés sur la surface d'un objet de mesure et une surface de référence et de déterminer une déformation et une contrainte à partir des différences de phase entre les franges de moiré de second ordre, avant et après la déformation, d'un motif répétitif sur la surface de l'objet ou un réseau produit. Par conséquent, il est possible de mesurer la forme tridimensionnelle et la distribution de déformation d'un objet avec précision et avec un large champ de vision ou de manière dynamique et avec un degré élevé de précision.
(JA)従来のモアレ法では、測定精度と動的計測の両立または視野と測定精度のバランスをとることは困難である。従来のモアレ縞を位相シフトされた2段モアレ縞を生成するための格子として扱い、変形前後の2段モアレ縞の位相を空間位相シフト法のアルゴリスムを利用して正確に解析し、測定対象物表面と基準面に投影された格子の位相差から形状を、物体表面に存在する繰り返し模様または作製された格子の変形前後の2段モアレ縞の位相差から変位とひずみを決定することができる。その結果、物体の三次元形状と変形分布を広視野で正確に、もしくは高精度で動的に測定可能になった。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)