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1. (WO2018061274) THREE-DIMENSIONAL MEASURING DEVICE
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Pub. No.: WO/2018/061274 International Application No.: PCT/JP2017/015696
Publication Date: 05.04.2018 International Filing Date: 19.04.2017
IPC:
G01B 11/00 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9
Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02
Interferometers
Applicants:
CKD株式会社 CKD CORPORATION [JP/JP]; 愛知県小牧市応時二丁目250番地 250, Ouji 2-chome, Komaki-shi, Aichi 4858551, JP
Inventors:
石垣 裕之 ISHIGAKI Hiroyuki; JP
間宮 高弘 MAMIYA Takahiro; JP
Agent:
川口光男 KAWAGUCHI Mitsuo; JP
Priority Data:
2016-18928128.09.2016JP
Title (EN) THREE-DIMENSIONAL MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE TRIDIMENSIONNELLE
(JA) 三次元計測装置
Abstract:
(EN) Provided is a three-dimensional measuring device with which light having different wavelengths can be used to enlarge a measuring range and improve measuring efficiency. A three-dimensional measuring device 1 is provided with: a polarizing beam splitter 20 capable of splitting incident predetermined light into two polarized light beams having mutually orthogonal polarization directions, radiating one of the light beams as measurement light onto a workpiece W and radiating the other light beam as reference light onto a reference surface 23, and recombining and emitting the light beams; a first light projecting system 2A which causes first light to be incident on a first surface 20a of the polarizing beam splitter 20; a second light projecting system 2B which causes second light to be incident on a second surface 20b of the polarizing beam splitter 20; a first imaging system 4A capable of capturing an image of the first light emitted from the first surface 20a of the polarizing beam splitter 20; and a second imaging system 4B capable of capturing an image of the second light emitted from the second surface 20b of the polarizing beam splitter 20.
(FR) L'invention concerne un dispositif de mesure tridimensionnelle avec lequel la lumière ayant différentes longueurs d'onde peut être utilisée pour agrandir une plage de mesure et améliorer l'efficacité de mesure. Un dispositif de mesure tridimensionnelle 1 est pourvu de : un diviseur de faisceau polarisant 20 susceptible de diviser une lumière prédéfinie incidente en deux faisceaux lumineux polarisés ayant des directions de polarisation mutuellement orthogonales, de diffuser l'un des faisceaux lumineux en tant que lumière de mesure sur une pièce W et diffuser l'autre faisceau lumineux en tant que lumière de référence sur une surface de référence 23, et de recombiner et d'émettre les faisceaux lumineux ; un premier système de projection de lumière 2A qui amène une première lumière à être incidente sur une première surface 20a du diviseur de faisceau polarisant 20 ; un second système de projection de lumière 2B qui amène une seconde lumière à être incidente sur une seconde surface 20b du diviseur de faisceau polarisant 20 ; un premier système d'imagerie 4A susceptible de capturer une image de la première lumière émise par la première surface 20a du diviseur de faisceau polarisant 20 ; et un second système d'imagerie 4B susceptible de capturer une image de la seconde lumière émise par la seconde surface 20b du diviseur de faisceau polarisant 20.
(JA) 波長の異なる光を利用して、計測レンジの拡大を図ると共に、計測効率の向上を図ることのできる三次元計測装置を提供する。三次元計測装置1は、入射する所定の光を偏光方向が互いに直交する2つの偏光に分割し一方を計測光としてワークWに照射しかつ他方を参照光として参照面23に照射すると共に、これらを再び合成して出射可能な偏光ビームスプリッタ20と、この偏光ビームスプリッタ20の第1面20aに対し第1光を入射させる第1投光系2Aと、偏光ビームスプリッタ20の第2面20bに対し第2光を入射させる第2投光系2Bと、偏光ビームスプリッタ20の第1面20aから出射される前記第1光を撮像可能な第1撮像系4Aと、偏光ビームスプリッタ20の第2面20bから出射される前記第2光を撮像可能な第2撮像系4Bとを備えている。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)