WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2018057399) WAVELENGTH-BASED OPTICAL FILTERING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.:    WO/2018/057399    International Application No.:    PCT/US2017/051666
Publication Date: 29.03.2018 International Filing Date: 14.09.2017
IPC:
G01J 3/10 (2006.01), G02B 5/18 (2006.01), G02B 5/26 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: SCHAFGANS, Alexander Anthony; (US).
FOMENKOV, Igor Vladimirovich; (US).
TAO, Yezheng; (US).
ROKISTSKI, Rostislav; (US).
BROWN, Daniel John William; (US).
STINSON, Cory Alan; (US).
RAFAC, Robert Jay; (US)
Agent: NGUYEN, Joseph A.; 17075 Thornmint Court San Diego, California 92127-2413 (US)
Priority Data:
15/270,072 20.09.2016 US
Title (EN) WAVELENGTH-BASED OPTICAL FILTERING
(FR) FILTRAGE OPTIQUE BASÉ SUR LA LONGUEUR D'ONDE
Abstract: front page image
(EN)An optical source for an extreme ultraviolet (EUV) photolithography tool includes a light-generation system including a light-generation module; an optical amplifier including a gain medium associated with a gain band, the gain medium configured to amplify Sight having a wavelength in the gain band; and a wavelength-based optical filter system on a beam path between the light-generation module and the optical amplifier, the wavelength-based optical filter system including at least one optical element configured to allow light having a wavelength in a first set of wavelengths to propagate on the beam path and to remove light having a wavelength in a second set of wavelengths from the beam path, the first set of wavelengths and the second set of wavelengths including different wavelengths in the gain band of the optical amplifier.
(FR)L'invention concerne une source optique destinée à un outil de photolithographie aux ultraviolets extrêmes (EUV) et comprenant un système de génération de lumière comprenant un module de génération de lumière; un amplificateur optique comprenant un milieu de gain associé à une bande de gain, le milieu de gain étant conçu pour amplifier la vision ayant une longueur d'onde dans la bande de gain; et un système de filtre optique à base de longueur d'onde sur un trajet de faisceau entre le module de génération de lumière et l'amplificateur optique, le système de filtre optique à base de longueur d'onde comprenant au moins un élément optique conçu pour permettre à la lumière ayant une longueur d'onde dans un premier ensemble de longueurs d'onde de se propager sur le trajet de faisceau et d'éliminer la lumière ayant une longueur d'onde dans un second ensemble de longueurs d'onde provenant du trajet de faisceau, le premier ensemble de longueurs d'onde et le second ensemble de longueurs d'onde comprenant différentes longueurs d'onde dans la bande de gain de l'amplificateur optique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)