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1. (WO2018057397) METHODS AND APPARATUS FOR PROCESSING CHAMBER CLEANING END POINT DETECTION
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Pub. No.:    WO/2018/057397    International Application No.:    PCT/US2017/051630
Publication Date: 29.03.2018 International Filing Date: 14.09.2017
IPC:
H01L 21/67 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: CHOI, Young-Jin; (US).
CHO, Su Ho; (US).
PARK, Beomsoo; (US).
PENG, Fei; (US).
CHOI, Soo Young; (US)
Agent: DUGAN, Brian M.; (US).
DUGAN, Valerie G.; (US).
TOSTADO, Paula; (US).
WILSON, James C.; (US).
GHEORGHIU, Anca; (US).
KWONG, Raymond Kam-on; (US).
DAO, Mimi-Diemmy; (US).
WAYLAND, Randall S.; (US).
CHOI, Changhoon; (US).
FABER, Scott; (US).
HWANG, David; (US).
TUMA, Garry J.; (US).
MIZUMOTO, Edmund; (US).
BALUN, Matthew; (US)
Priority Data:
15/273,631 22.09.2016 US
Title (EN) METHODS AND APPARATUS FOR PROCESSING CHAMBER CLEANING END POINT DETECTION
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREIL DE DÉTECTION DE POINT LIMITE DE NETTOYAGE DE CHAMBRE DE TRAITEMENT
Abstract: front page image
(EN)Embodiments provide systems, methods and apparatus for detecting a cleaning endpoint of a cleaning process performed within a processing chamber. Embodiments include a spectrometer adapted to measure a spectrum response over time of a cleaning reaction within a processing chamber during a cleaning process; and a lens system coupled to the spectrometer and disposed to focus on a selected area within the processing chamber via a viewport and to amplify intensity of radiation from the selected area during the cleaning process. The selected area is chosen based on being the expected location of the last cleaning reaction during the cleaning process within the processing chamber (e.g., a corner in a rectangular chamber). Numerous other aspects are provided.
(FR)Des modes de réalisation de la présente invention concernent des systèmes, des procédés et un appareil de détection d'un point limite de nettoyage d'un processus de nettoyage effectué à l'intérieur d'une chambre de traitement. Des modes de réalisation comprennent un spectromètre conçu pour mesurer une réponse de spectre au fil du temps d'une réaction de nettoyage à l'intérieur d'une chambre de traitement pendant un processus de nettoyage ; et un système de lentille couplé au spectromètre et agencé pour se focaliser sur une zone sélectionnée à l'intérieur de la chambre de traitement par l'intermédiaire d'une fenêtre d'affichage et pour amplifier l'intensité du rayonnement à partir de la zone sélectionnée pendant le processus de nettoyage. La zone sélectionnée est choisie sur la base de l'emplacement attendu de la dernière réaction de nettoyage pendant le processus de nettoyage à l'intérieur de la chambre de traitement (par exemple, un coin dans une chambre rectangulaire). L'invention concerne également de nombreux autres aspects.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)