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1. (WO2018056419) ELEMENTAL ANALYSIS DEVICE AND ELEMENTAL ANALYSIS METHOD
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Pub. No.:    WO/2018/056419    International Application No.:    PCT/JP2017/034391
Publication Date: 29.03.2018 International Filing Date: 22.09.2017
IPC:
H01J 49/04 (2006.01), G01N 27/62 (2006.01), G01N 31/12 (2006.01)
Applicants: HORIBA, LTD. [JP/JP]; 2, Miyanohigashi-cho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018510 (JP).
HORIBA STEC, CO., LTD. [JP/JP]; 11-5, Hokodate-cho, Kamitoba, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018116 (JP)
Inventors: INOUE, Takahito; (JP).
UCHIHARA, Hiroshi; (JP).
SASAI, Kohei; (JP).
IKEYAMA, Toshihiro; (JP)
Agent: NISHIMURA, Ryuhei; (JP)
Priority Data:
2016-186313 23.09.2016 JP
2017-109459 01.06.2017 JP
Title (EN) ELEMENTAL ANALYSIS DEVICE AND ELEMENTAL ANALYSIS METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE ÉLÉMENTAIRE ET PROCÉDÉ D'ANALYSE ÉLÉMENTAIRE
(JA) 元素分析装置及び元素分析方法
Abstract: front page image
(EN)The objective of the present invention is the accurate quantitative analysis of the Ar element contained in a sample gas in an elemental analysis device combining a heating oven and a mass spectrometer for performing quantitative analysis of an element in a vacuum atmosphere. The invention comprises: a heating oven (10) heating a graphite crucible (11) containing a sample while a carrier gas is being introduced, thereby vaporizing the sample to generate a sample gas; a quadrupole mass spectrometer (40) for performing, in the vacuum atmosphere, the quantitative analysis of the Ar element contained in a sample gas from a mixed gas comprising the carrier gas and the sample gas drawn from the heating oven; a first pressure regulator (111) controlling the pressure of the carrier gas being introduced into the heating oven (10); and a second pressure regulator (126) controlling the pressure of the mixed gas being drawn from the heating oven (10).
(FR)L'objectif de la présente invention est l'analyse quantitative précise de l'élément Ar contenu dans un gaz échantillon dans un dispositif d'analyse élémentaire combinant un four de chauffage et un spectromètre de masse pour effectuer une analyse quantitative d'un élément dans une atmosphère sous vide. L'invention comprend : un four de chauffage (10) chauffant un creuset en graphite (11) contenant un échantillon pendant qu'un gaz porteur est introduit, ce qui vaporise l'échantillon pour générer un échantillon gazeux; un spectromètre de masse quadrupôle(40) pour effectuer, dans l'atmosphère sous vide, l'analyse quantitative de l'élément Ar contenu dans un gaz échantillon à partir d'un gaz mixte comprenant le gaz porteur et le gaz échantillon aspiré à partir du four de chauffage; un premier régulateur de pression (111) commandant la pression du gaz vecteur qui est introduit dans le four de chauffage (10); et un second régulateur de pression (126) commandant la pression du gaz mélangé qui est aspiré à partir du four de chauffage (10).
(JA)本発明は、加熱炉と真空雰囲気で元素を定量分析する質量分析計とを組み合わせた元素分析装置において、試料ガスに含まれるAr元素を精度良く定量分析する。キャリアガスを導入しながら試料が入った黒鉛るつぼ(11)を加熱することで該試料を気化して試料ガスを生成する加熱炉(10)と、前記加熱炉から導出されるキャリアガス及び試料ガスからなる混合ガス中の該試料ガスに含まれるAr元素を真空雰囲気で定量分析する四重極型質量分析計(40)と、前記加熱炉(10)に導入されるキャリアガスの圧力を制御する第1調圧器(111)と、前記加熱炉(10)から導出される混合ガスの圧力を制御する第2調圧器(126)とを備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)