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1. (WO2018055941) SURFACE TREATMENT COMPOSITION
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Pub. No.:    WO/2018/055941    International Application No.:    PCT/JP2017/029003
Publication Date: 29.03.2018 International Filing Date: 09.08.2017
IPC:
H01L 21/304 (2006.01), C11D 7/22 (2006.01)
Applicants: FUJIMI INCORPORATED [JP/JP]; 1-1, Chiryo 2-chome, Nishibiwajima-cho, Kiyosu-shi, Aichi 4528502 (JP)
Inventors: CHEN, Jingzhi; (TW)
Agent: HATTA & ASSOCIATES; Dia Palace Nibancho, 11-9, Nibancho, Chiyoda-ku, Tokyo 1020084 (JP)
Priority Data:
2016-184768 21.09.2016 JP
Title (EN) SURFACE TREATMENT COMPOSITION
(FR) COMPOSITION DE TRAITEMENT DE SURFACE
(JA) 表面処理組成物
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide a surface treatment composition which has both silico-silicon bonds and nitrogen-silicon bonds and which can treat the surface of an object to be polished with a polishing agent by sufficiently removing defects on the surface of said object to be polished with a polishing agent. [Solution] This surface treatment composition, which is used in surface treatment of an object to be polished with a polishing agent, includes silico-silicon bonds and nitrogen-silicon bonds, has a pH of less than 9.0 and contains: (A), a nonionic water-soluble polymer having a primary chain consisting exclusively of carbon atoms, or of carbon atoms and nitrogen atoms; and (B), an anionic water-soluble polymer which has a primary chain consisting exclusively of carbon atoms, and a side chain which is bonded to said primary chain consisting exclusively of carbon atoms and which has a sulfonic acid group or a group having a salt thereof, or a carboxylic group or a group having a salt thereof.
(FR)[Problème] Fournir une composition de traitement de surface qui a à la fois des liaisons silico-silicium et des liaisons azote-silicium et qui peut traiter la surface d'un objet à polir avec un agent de polissage par élimination suffisante de défauts sur la surface dudit objet à polir avec un agent de polissage. [Solution] cette composition de traitement de surface, qui est utilisée dans le traitement de surface d'un objet à polir avec un agent de polissage, comprend des liaisons silico-silicium et des liaisons azote-silicium, a un pH inférieur à 9,0 et contient : (A), un polymère non ionique soluble dans l'eau ayant une chaîne primaire constituée exclusivement d'atomes de carbone, ou d'atomes de carbone et d'atomes d'azote; et (B), un polymère anionique soluble dans l'eau qui a une chaîne primaire constituée exclusivement d'atomes de carbone, et une chaîne latérale qui est liée à ladite chaîne principale constituée exclusivement d'atomes de carbone et qui a un groupe acide sulfonique ou un groupe ayant un sel de celui-ci, ou un groupe carboxylique ou un groupe ayant un sel de celui-ci.
(JA)【課題】 ケイ素-ケイ素結合および窒素-ケイ素結合のいずれをも有する研磨済研磨対象物表面のディフェクトを十分に除去することで研磨済研磨対象物の表面を処理できる表面処理組成物を提供することである。 【解決手段】炭素原子のみ、または炭素原子と窒素原子とからなる主鎖を有するノニオン水溶性高分子(A)と;炭素原子のみからなる主鎖と、当該炭素原子のみからなる主鎖に結合している、スルホン酸基もしくはその塩を有する基またはカルボキシル基もしくはその塩を有する基を有する側鎖とを有するアニオン水溶性高分子(B)と;を含有し、ケイ素-ケイ素結合と、窒素-ケイ素結合とを含む、研磨済研磨対象物の表面処理に用いられる、pHが9.0未満である、表面処理組成物。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)