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1. (WO2018055889) HEAT BONDING SHEET, AND HEAT BONDING SHEET WITH DICING TAPE
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Pub. No.: WO/2018/055889 International Application No.: PCT/JP2017/026085
Publication Date: 29.03.2018 International Filing Date: 19.07.2017
IPC:
H01L 21/52 (2006.01) ,C09J 7/02 (2006.01) ,H01L 21/301 (2006.01)
Applicants: NITTO DENKO CORPORATION[JP/JP]; 1-1-2,Shimohozumi,Ibaraki-shi, Osaka 5678680, JP
Inventors: SUGO,Yuki; JP
HONDA,Satoshi; JP
Agent: UNIUS PATENT ATTORNEYS OFFICE; First Shin-Osaka MT Bldg. 2nd Floor, 5-13-9 Nishinakajima, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5320011, JP
Priority Data:
2016-18432021.09.2016JP
Title (EN) HEAT BONDING SHEET, AND HEAT BONDING SHEET WITH DICING TAPE
(FR) FEUILLE DE THERMOCOLLAGE, ET FEUILLE DE THERMOCOLLAGE DOTÉE D'UN RUBAN DE DÉCOUPAGE EN DÉS
(JA) 加熱接合用シート及びダイシングテープ付き加熱接合用シート
Abstract: front page image
(EN) Provided are: a heat bonding sheet with which it is possible to stably obtain a sintered layer having desired characteristics, and in which changes in composition can be inhibited; and a heat bonding sheet with a dicing tape, having said heat bonding sheet. A heat bonding sheet having a precursor that becomes a sintered layer by heating, wherein the weight loss ΔW0(%), when an analysis by differential thermogravimetric analysis is performed in a nitrogen atmosphere from 23°C to 400°C at a temperature increase speed of 10 °C/min before the heat bonding sheet is exposed to an atmosphere having a temperature of 23 ± 2°C and a humidity of 50 ± 20%, and the weight loss ΔW24(%), when an analysis by differential thermogravimetric analysis is performed in a nitrogen atmosphere from 23°C to 400°C at a temperature increase speed of 10 °C/min after the heat bonding sheet has been exposed to an atmosphere having a temperature of 23 ± 2°C and a humidity of 50 ± 20%, satisfy the following relationship (3). -1% ≤ ΔW0-ΔW24 ≤ 0.5% (3)
(FR) L'invention concerne : une feuille de thermocollage avec laquelle il est possible d'obtenir de manière stable une couche frittée présentant des caractéristiques souhaitées, et dans laquelle des changements de composition peuvent être inhibés ; et une feuille de thermocollage avec ruban de découpage en dés, présentant ladite feuille de thermocollage. Une feuille de thermocollage présentant un précurseur qui devient une couche frittée par chauffage, la perte de poids ΔW0 (%), lorsqu'une analyse thermogravimétrique différentielle est effectuée dans une atmosphère d'azote de 23 °C à 400 °C à une vitesse d'augmentation de température de 10 °C/min avant que la feuille de thermocollage ne soit exposée à une atmosphère présentant une température de 23 ± 2 °C et une humidité de 50 ± 20 %, et la perte de poids ΔW24 (%), lorsqu'une analyse thermogravimétrique différentielle est effectuée dans une atmosphère d'azote de 23 °C à 400 °C à une vitesse d'augmentation de température de 10 °C/min après que la feuille de thermocollage a été exposée à une atmosphère présentant une température de 23 ± 2 °C et une humidité de 50 ± 20 %, satisfont la relation suivante (3). -1 % ≤ ΔW0-ΔW24 ≤ 0,5 % (3)
(JA) 組成変化を抑制可能であり、所望の特性を有する焼結層を安定して得られる加熱接合シート、及び当該加熱接合用シートを有するダイシングテープ付き加熱接合用シートを提供する。加熱により焼結層となる前駆層を有する加熱接合用シートであって、前記加熱接合用シートを温度23±2℃、湿度50±20%の雰囲気に曝露する前に、差動型示差熱天秤による分析を窒素雰囲気中、23℃から400℃まで昇温速度10℃/minで行った際の重量減少率ΔW(%)と、前記加熱接合用シートを温度23±2℃、湿度50±20%の雰囲気に24時間曝露した後に、差動型示差熱天秤による分析を窒素雰囲気中、23℃から400℃まで昇温速度10℃/minで行った際の重量減少率ΔW24(%)とが、下記式(3)の関係を満たす加熱接合用シート。 -1%≦ΔW-ΔW24≦0.5% (3)
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)