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1. (WO2018055840) LASER IRRADIATION DEVICE, LASER IRRADIATION METHOD, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
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Pub. No.:    WO/2018/055840    International Application No.:    PCT/JP2017/020641
Publication Date: 29.03.2018 International Filing Date: 02.06.2017
IPC:
H01L 21/268 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01), H01L 21/20 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: THE JAPAN STEEL WORKS, LTD. [JP/JP]; 11-1, Osaki 1-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410032 (JP)
Inventors: MIKAMI Takahiro; (JP).
FUJI Takahiro; (JP).
SUZUKI Yuki; (JP).
YAMAGUCHI Yoshihiro; (JP)
Agent: IEIRI Takeshi; (JP)
Priority Data:
2016-183676 21.09.2016 JP
Title (EN) LASER IRRADIATION DEVICE, LASER IRRADIATION METHOD, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'IRRADIATION LASER, PROCÉDÉ D'IRRADIATION LASER ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR
(JA) レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法
Abstract: front page image
(EN)According to one embodiment of the present invention, a laser irradiation device (1) is provided with: a laser light generating device (14) for generating laser light; a floating unit (10) for floating a subject (16) to be treated, said subject being to be irradiated with the laser light; and a transfer unit (11) for transferring the floating subject 16. The transfer unit (11) transfers the subject (16) by retaining a position where the transfer unit (11) is not superimposed with an irradiation position (15) of the laser light. With the laser irradiation device (1) according to the one embodiment of the present invention, occurrence of uneven laser light irradiation can be suppressed.
(FR)Selon un mode de réalisation de la présente invention, un dispositif d'irradiation laser (1) comprend : un dispositif de génération de lumière laser (14) pour générer une lumière laser ; une unité flottante (10) pour faire flotter un sujet (16) à traiter, ledit sujet devant être irradié avec la lumière laser ; et une unité de transfert (11) pour transférer le sujet (16) flottant. L'unité de transfert (11) transfère le sujet (16) en retenant une position dans laquelle l'unité de transfert (11) n'est pas superposée à une position d'irradiation (15) de la lumière laser. Avec le dispositif d'irradiation laser (1) selon le mode de réalisation de la présente invention, l'apparition d'une irradiation de lumière laser irrégulière peut être supprimée.
(JA)一実施の形態にかかるレーザ照射装置(1)は、レーザ光を発生させるレーザ発生装置(14)と、レーザ光が照射される被処理体(16)を浮上させる浮上ユニット(10)と、浮上している被処理体16を搬送する搬送ユニット(11)と、を備える。搬送ユニット(11)は、搬送ユニット(11)がレーザ光の照射位置(15)と重畳しない位置を保持して被処理体(16)を搬送する。一実施の形態にかかるレーザ照射装置(1)により、レーザ光の照射にムラが生じることを抑制することができる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)