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1. (WO2018054382) WAFER CLAMPING DEVICE
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Pub. No.:    WO/2018/054382    International Application No.:    PCT/CN2017/103478
Publication Date: 29.03.2018 International Filing Date: 26.09.2017
IPC:
H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: TSINGHUA UNIVERSITY [CN/CN]; Qinghuayuan, Haidian District Beijing 100084 (CN).
HWATSING TECHNOLOGY CO., LTD. [CN/CN]; #8 Building, No. 9 Juxing Road Haihe Sci-Tech Park, Jinnan District Tianjin 300350 (CN)
Inventors: WANG, Jian; (CN).
XU, Zhenjie; (CN).
WANG, Tongqing; (CN).
LI, Kun; (CN).
LU, Xinchun; (CN)
Agent: TSINGYIHUA INTELLECTUAL PROPERTY LLC; Room 301, Trade Building Zhaolanyuan, Tsinghua University Qinghuayuan, Haidian District Beijing 100084 (CN)
Priority Data:
201610852803.9 26.09.2016 CN
Title (EN) WAFER CLAMPING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SERRAGE DE TRANCHE
(ZH) 晶圆夹持装置
Abstract: front page image
(EN)A wafer clamping device (100) comprising: a first clamping member (10) having a first clamping end (11) and a first moving end (12); a second clamping member (20) having a second clamping end (21) and a second moving end (22); a drive member (30) configured to synchronously drive the first moving end (12) and the second moving end (22) to move toward or against each other. The first clamping end (11) and the second clamping end (21) are provided opposite to each other to clamp a wafer (200). Due to the configuration of the first clamping member (10) and the second clamping member (20), the two clamping ends can synchronously move to clamp the wafer (200), so as to prevent the wafer (200) from contacting other surfaces, thereby preventing the abrasion of the surface of the wafer (200) and improving the quality of the wafer (200).
(FR)Un dispositif de serrage de tranche (100) comprend : un premier élément de serrage (10) pourvu d'une première extrémité de serrage (11) et d'une première extrémité mobile (12); un second élément de serrage (20) pourvu d'une seconde extrémité de serrage (21) et d'une seconde extrémité mobile (22); un élément d'entraînement (30) conçu pour entraîner de manière synchrone la première extrémité mobile (12) et la seconde extrémité mobile (22) de sorte qu'elles effectuent un mouvement de va-et-vient. La première extrémité de serrage (11) et la seconde extrémité de serrage (21) sont disposées à l'opposé l'une de l'autre pour serrer une tranche (200). Du fait de la configuration du premier élément de serrage (10) et du second élément de serrage (20), les deux extrémités de serrage peuvent se déplacer de manière synchrone pour serrer la tranche (200), de manière à empêcher la tranche (200) de venir en contact avec d'autres surfaces, ce qui permet d'éviter l'abrasion de la surface de la tranche (200) et d'améliorer la qualité de la tranche (200).
(ZH)一种晶圆夹持装置,晶圆夹持装置(100)包括:第一夹持件(10),所述第一夹持件(10)具有第一夹持端(11)和第一活动端(12);第二夹持件(20),所述第二夹持件(20)具有第二夹持端(21)和第二活动端(22);驱动件(30),所述驱动件(30)设置成同步驱动所述第一活动端(12)和所述第二活动端(22)相向或背向运动,其中,所述第一夹持端(11)与所述第二夹持端(21)相对设置以用于夹持晶圆(200)。通过设置第一夹持件(10)和第二夹持件(20),两个夹持端可以同步运动夹持住晶圆(200),从而可以避免晶圆(200)与其他表面相接触,可以避免晶圆(200)表面的磨损,可以提高晶圆(200)的品质。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)