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1. (WO2018052505) DOE DEFECT MONITORING UTILIZING TOTAL INTERNAL REFLECTION
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Pub. No.: WO/2018/052505 International Application No.: PCT/US2017/039164
Publication Date: 22.03.2018 International Filing Date: 25.06.2017
IPC:
G01M 11/00 (2006.01)
Applicants: APPLE INC.[US/US]; 1 Infinite Loop Cupertino, California 95014, US
Inventors: MEDOWER, Brian S; US
ZHANG, Meng; US
Agent: KLIGLER, Daniel; IL
Priority Data:
15/594,60714.05.2017US
62/396,25019.09.2016US
Title (EN) DOE DEFECT MONITORING UTILIZING TOTAL INTERNAL REFLECTION
(FR) SURVEILLANCE DE DÉFAUT DE DOE UTILISANT UNE RÉFLEXION INTERNE TOTALE
Abstract: front page image
(EN) An optical apparatus (20) includes a diffractive optical element (DOE - 26), having at least one optical surface, a side surface (34, 36), which is not parallel to the at least one optical surface of the DOE, and a grating (30), which is formed on the at least one optical surface so as to receive and diffract first radiation that is incident on the grating. The apparatus further includes at least one secondary radiation source (38), which is configured to direct second radiation to impinge on the side surface, causing at least part of the second radiation to propagate within the DOE while diffracting internally from the grating and to exit through the side surface. The apparatus also includes at least one radiation detector (40), which is positioned so as to receive and sense an intensity of the second radiation that has exited through the side surface.
(FR) Selon la présente invention, un appareil optique (20) comprend un élément optique diffractif (DOE-26), ayant au moins une surface optique, une surface latérale (34, 36), qui n'est pas parallèle auxdites surfaces optiques du DOE, et un réseau (30), qui est formé sur lesdites surfaces optiques de façon à recevoir et à diffracter un premier rayonnement à incidence sur le réseau. L'appareil comprend en outre au moins une source de rayonnement secondaire (38), qui est configurée pour diriger un second rayonnement afin d'heurter la surface latérale, ce qui amène au moins une partie du second rayonnement à se propager à l'intérieur du DOE tout en diffractant intérieurement à partir du réseau et à sortir à travers la surface latérale. L'appareil comprend également au moins un détecteur de rayonnement (40), qui est positionné de façon à recevoir et à détecter une intensité du second rayonnement qui a quitté la surface latérale.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)