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1. (WO2018051744) DETECTION DEVICE, DETECTION METHOD, PATTERNING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING ARTICLE
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Pub. No.:    WO/2018/051744    International Application No.:    PCT/JP2017/029939
Publication Date: 22.03.2018 International Filing Date: 22.08.2017
IPC:
G03F 9/00 (2006.01), G01B 11/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP)
Inventors: SAKAMOTO Noritoshi; (JP)
Agent: ABE Takuma; (JP).
KUROIWA Sogo; (JP)
Priority Data:
2016-179919 14.09.2016 JP
Title (EN) DETECTION DEVICE, DETECTION METHOD, PATTERNING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING ARTICLE
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION, PROCÉDÉ DE DÉTECTION, DISPOSITIF DE PLACEMENT DE MOTIFS ET PROCÉDÉ DESTINÉ À LA FABRICATION D'ARTICLE
(JA) 検出装置、検出方法、パターニング装置、および物品の製造方法
Abstract: front page image
(EN)The present invention pertains to a detection device (25) for detecting the positions of marks on movable objects (3, 4a). The detection device (25) has: a control unit (24) that has a function as a specifying means for specifying the timing at which the speed of the objects (3, 4a) falls to or below a prescribed value, from the time when the objects (3, 4a) reach a target position until the objects (3, 4a) settle; imaging means (13, 16) for imaging marks at the timing specified by the control unit (24); and detection means (22, 23) for detecting the positions of the marks on the basis of the imaging results obtained by the imaging means (13, 16) and position information about the objects (3, 4a) at the aforementioned timing.
(FR)La présente invention se rapporte à un dispositif de détection (25) destiné à détecter les positions de marques sur des objets mobiles (3, 4a). Le dispositif de détection (25) comprend : une unité de commande (24) qui comprend une fonction comme moyen de spécification destiné à spécifier le moment auquel la vitesse des objets (3, 4a) tombe au niveau d'une valeur prescrite ou au-dessous d'une valeur prescrite, de l'instant où les objets (3, 4a) atteignent une position cible jusqu'à ce que les objets (3, 4a) se stabilisent ; des moyens d'imagerie (13, 16) destinés à imager des marques au moment spécifié par l'unité de commande (24) ; et des moyens de détection (22, 23) destinés à détecter les positions des marques sur la base des résultats d'imagerie obtenus par les moyens d'imagerie (13, 16) et des informations de position concernant les objets (3, 4a) au moment susmentionné.
(JA)本発明は、移動可能な物体(3、4a)上のマークの位置を検出する検出装置(25)に関する。検出装置(25)は、物体(3、4a)が目標位置に到達してから整定するまでの間で、物体(3、4a)の速度が所定値以下となるタイミングを特定する特定手段としての機能を有する制御部(24)と、制御部(24)により特定されたタイミングでマークを撮像する撮像手段(13、16)と、撮像手段(13、16)により得られた撮像結果と前記タイミングにおける物体(3、4a)の位置情報とに基づいてマークの位置を検出する検出手段(22、23)と、を有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)