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1. (WO2018051714) QUARTZ GLASS CRUCIBLE AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
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Pub. No.:    WO/2018/051714    International Application No.:    PCT/JP2017/029543
Publication Date: 22.03.2018 International Filing Date: 17.08.2017
IPC:
C30B 29/06 (2006.01), C03B 20/00 (2006.01), C30B 15/10 (2006.01)
Applicants: SUMCO CORPORATION [JP/JP]; 2-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku Tokyo 1058634 (JP)
Inventors: KISHI Hiroshi; (JP).
FUKUI Masanori; (JP)
Agent: WASHIZU Mitsuhiro; (JP).
OGATA Kazufumi; (JP).
KUROSE Yasuyuki; (JP)
Priority Data:
2016-178309 13.09.2016 JP
Title (EN) QUARTZ GLASS CRUCIBLE AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
(FR) CREUSET EN VERRE DE QUARTZ ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
(JA) 石英ガラスルツボ及びその製造方法
Abstract: front page image
(EN)[Problem} To provide: a quartz glass crucible that is able to withstand an extremely lengthy single crystal pulling process such as multi-pulling; and a production method therefor. [Solution] A quartz glass crucible 1 is provided with: a high-aluminum-content layer 14B which comprises a quartz glass having a relatively high average aluminum concentration, and which is disposed so as to constitute an external surface 10b of the quartz glass crucible 1; and a low-aluminum-content layer 14A which comprises a quartz glass having a lower average aluminum concentration than the high-aluminum-content layer 14B, and which is disposed on an inner side of the high-aluminum-content layer 14B, wherein the low-aluminum-content layer 14A includes an opaque layer 11 comprising a quartz glass that contains numerous fine air bubbles, while the high-aluminum-content layer 14B comprises a transparent or semitransparent quartz glass in which the bubble content is lower than that in the opaque layer 11.
(FR)La présente invention concerne un creuset en verre de quartz qui est apte à résister à un processus de tirage de monocristal extrêmement long tel qu'un tirage multiple ; et un procédé de production associé. Ledit creuset en verre de quartz (1) comprend : une couche à haute teneur en aluminium (14B) qui comprend un verre de quartz ayant une concentration moyenne en aluminium relativement élevée, et qui est disposée de manière à constituer une surface externe (10b) du creuset en verre de quartz (1) ; et une couche à faible teneur en aluminium (14A) qui comprend un verre de quartz ayant une concentration moyenne en aluminium inférieure à celle de la couche à haute teneur en aluminium (14B), et qui est disposée sur un côté interne de la couche à haute teneur en aluminium (14B), la couche à faible teneur en aluminium (14A) comprenant une couche opaque (11) comprenant un verre de quartz qui contient de nombreuses fines bulles d'air, tandis que la couche à haute teneur en aluminium (14B) comprend un verre de quartz transparent ou semi-transparent dans lequel la teneur en bulles est inférieure à celle de la couche opaque (11).
(JA)【課題】マルチ引き上げなどの非常に長時間の単結晶引き上げ工程に耐えることができる石英ガラスルツボ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】石英ガラスルツボ1は、アルミニウム平均濃度が相対的に高い石英ガラスからなり、石英ガラスルツボ1の外面10bを構成するように設けられた高アルミニウム含有層14Bと、高アルミニウム含有層14Bよりもアルミニウム平均濃度が低い石英ガラスからなり、高アルミニウム含有層14Bの内側に設けられた低アルミニウム含有層14Aとを備え、低アルミニウム含有層14Aは、多数の微小な気泡を含む石英ガラスからなる不透明層11を含み、高アルミニウム含有層14Bは不透明層11よりも気泡含有率が低減された透明又は半透明の石英ガラスからなる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)