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1. (WO2018050275) MICROSYSTEM DEVICE COMPRISING INTEGRATED DESICCANT MONITORING
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Pub. No.:    WO/2018/050275    International Application No.:    PCT/EP2017/001066
Publication Date: 22.03.2018 International Filing Date: 08.09.2017
IPC:
G01N 25/56 (2006.01), G01M 3/16 (2006.01), H01L 23/26 (2006.01)
Applicants: ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITÄT FREIBURG [DE/DE]; Friedrichstraße 39 79098 Freiburg (DE).
RUDMANN, Linda [DE/DE]; (DE) (US only).
LANGENMAIR, Michael [DE/DE]; (DE) (US only).
ORDONEZ, Juan Sebastian [IT/NL]; (NL) (US only).
STIEGLITZ, Thomas [DE/DE]; (DE) (US only)
Inventors: RUDMANN, Linda; (DE).
LANGENMAIR, Michael; (DE).
ORDONEZ, Juan Sebastian; (NL).
STIEGLITZ, Thomas; (DE)
Agent: RÖSLER, Uwe; Rösler Patentanwaltskanzlei Landsberger Str. 480a 81241 München (DE)
Priority Data:
10 2016 011 046.5 13.09.2016 DE
Title (DE) MIKROSYSTEMTECHNISCHE VORRICHTUNG MIT INTEGRIERTER TROCKENMITTELÜBERWACHUNG
(EN) MICROSYSTEM DEVICE COMPRISING INTEGRATED DESICCANT MONITORING
(FR) DISPOSITIF À SURVEILLANCE INTÉGRÉE D'AGENT SICCATIF
Abstract: front page image
(DE)Eine miniaturisierte, mikrosystemtechnische Vorrichtung (1) mit elektrischen und/oder optischen und/oder mechanischen Bauteilen (3) in einem gegen Luftfeuchte abgeschlossenen oder eingekapselten Gehäuse (2, 6, 7) enthält ein Trockenmittel (5). Durch die Messung des Absorptionsgrades des Trockenmittels (5) wird die feuchteabhängige Lebensdauer der Vorrichtung bestimmt.
(EN)A miniaturized, microsystem device (1), comprising electrical and/or optical and/or mechanical components (3) in a housing (2, 6, 7) that is sealed or encapsulated against atmospheric humidity, contains a desiccant (5). The humidity-dependent service life of the device is determined by measuring the absorptivity (5) of the desiccant.
(FR)L'invention concerne un dispositif miniaturisé, conçu selon la technique des microsystèmes, constitué de composants électriques et/ou optiques et/ou mécaniques placés dans un boîtier fermé non hermétiquement ou hermétiquement contre l'humidité de l'air ou blindé, ce dispositif contenant un agent siccatif. La mesure du degré d'absorption de l'agent siccatif permet de déterminer la durée de vie du dispositif en fonction de l'humidité.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)