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1. (WO2018049044) ARTICLES HAVING HOLES WITH MORPHOLOGY ATTRIBUTES AND METHODS FOR FABRICATING THE SAME
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Pub. No.:    WO/2018/049044    International Application No.:    PCT/US2017/050503
Publication Date: 15.03.2018 International Filing Date: 07.09.2017
IPC:
C03C 15/00 (2006.01), B23K 26/00 (2014.01), C03C 23/00 (2006.01), H01L 23/498 (2006.01), H05K 3/00 (2006.01), H05K 3/40 (2006.01), B23K 26/55 (2014.01)
Applicants: CORNING INCORPORATED [US/US]; 1 Riverfront Plaza Corning, NY 14831 (US)
Inventors: COVARRUBIAS JARAMILLO, Andres; (US).
JIN, Yuhui; (US).
KRAMER, Frank, Andrew, IV; (US).
KUKSENKOVA, Ekaterina Aleksandrovna; (US).
LEVESQUE, Daniel, Wayne, Jr.; (US).
PIECH, Garrett, Andrew; (US).
SHOREY, Aric, Bruce; (US).
WAGNER, Robert, Stephen; (US)
Agent: HARAN, John, T.; (US)
Priority Data:
62/384,923 08.09.2016 US
Title (EN) ARTICLES HAVING HOLES WITH MORPHOLOGY ATTRIBUTES AND METHODS FOR FABRICATING THE SAME
(FR) ARTICLES COMPRENANT DES TROUS DOTÉS DE CARACTÉRISTIQUES MORPHOLOGIQUES ET PROCÉDÉS POUR LES FABRIQUER
Abstract: front page image
(EN)Articles including a glass-based substrate with holes, semiconductor packages including an article with holes, and methods of fabricating holes in a substrate are disclosed. In one embodiment, an article includes a glass-based substrate having a first surface, a second surface, and at least one hole extending from the first surface. The at least one hole has an interior wall having a surface roughness Ra that is less than or equal to 1 μm. The at least one hole has a first opening having a first diameter that is present the first surface. A first plane is defined by the first surface of the glass-based substrate based on an average thickness of the glass-based substrate. A ratio of a depression depth to the first diameter of the at least one hole is less than or equal to 0.007.
(FR)L'invention concerne des articles comprenant un substrat à base de verre avec des trous, des boîtiers de semi-conducteur comprenant un article avec des trous, et des procédés de fabrication de trous dans un substrat. Dans un mode de réalisation, un article comprend un substrat à base de verre comportant une première surface, une seconde surface, et au moins un trou s'étendant depuis la première surface. Le ou les trous ont une paroi intérieure ayant une rugosité de surface Ra qui est inférieure ou égale à 1 µm. Le ou les trous ont une première ouverture ayant un premier diamètre qui est présente dans la première surface. Un premier plan est défini par la première surface du substrat à base de verre d'après l'épaisseur moyenne du substrat à base de verre. Le rapport d'une profondeur de dépression au premier diamètre du ou des trous est inférieur ou égal à 0,007.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)