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1. (WO2018048802) SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
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Pub. No.:    WO/2018/048802    International Application No.:    PCT/US2017/050085
Publication Date: 15.03.2018 International Filing Date: 05.09.2017
IPC:
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: BROOKS AUTOMATION, INC. [US/US]; 15 Elizabeth Drive Chelmsford, MA 01824 (US)
Inventors: CAVINS, Jeffrey, A.; (US).
SHARROCK, Leigh, F.; (US).
LETOURNEAU, Kyle, M.; (US).
MCKINNEY, Stacy; (US).
JARZYNKA, Dave; (US)
Agent: MARCOVICI, Janik; (US).
KNOTTS, JR., William, J.; (US)
Priority Data:
15/693,871 01.09.2017 US
62/385,150 08.09.2016 US
Title (EN) SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abstract: front page image
(EN)A substrate processing apparatus including a frame and at least one substrate transport arm having at least one end effector, each end effector having a base portion, a first and second substrate support tines mounted to and dependent from the base portion where at least one of the first and second substrate support tines is movable relative to the base portion, each of the first and second substrate support tines having respective substrate contacts configured to contact and support a substrate held by the end effector between the respective contacts of the first and second substrate support tines at a substrate support seat dimension span between the substrate contacts of the first and second substrate support tines, and an end effector drive section configured to vary a distance between the first and second substrate support tines relative to each other on the fly.
(FR)La présente invention concerne un appareil de traitement de substrat comprenant un cadre et au moins un bras de transport de substrat ayant au moins un effecteur terminal, chaque effecteur terminal ayant une partie de base, des première et seconde dents de support de substrat montées sur la partie de base et dépendantes de cette dernière, au moins l'une des première et seconde dents de support de substrat étant mobile par rapport à la partie de base, chacune des première et seconde dents de support de substrat ayant des contacts de substrat respectifs conçus pour entrer en contact avec et soutenir un substrat maintenu par l'effecteur terminal entre les contacts respectifs des première et seconde dents de support de substrat au niveau d'une étendue de dimension de siège de support de substrat entre les contacts de substrat des première et seconde dents de support de substrat, et une section d'entraînement d'effecteur terminal conçue pour faire varier une distance entre les première et seconde dents de support de substrat l'une par rapport à l'autre à la volée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)