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1. (WO2018047896) WIRE BONDING DEVICE
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Pub. No.:    WO/2018/047896    International Application No.:    PCT/JP2017/032224
Publication Date: 15.03.2018 International Filing Date: 07.09.2017
IPC:
H01L 21/60 (2006.01), H01L 21/607 (2006.01)
Applicants: SHINKAWA LTD. [JP/JP]; 51-1, Inadaira 2-chome, Musashimurayama-shi, Tokyo 2088585 (JP)
Inventors: SHIOZAWA, Shigeru; (JP).
KOMIYA, Kentaro; (JP)
Agent: YKI PATENT ATTORNEYS; 1-34-12, Kichijoji-Honcho, Musashino-shi, Tokyo 1800004 (JP)
Priority Data:
2016-174325 07.09.2016 JP
Title (EN) WIRE BONDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE CONNEXION DE FIL
(JA) ワイヤボンディング装置
Abstract: front page image
(EN)This wire bonding device is provided with: a capillary (15), which is driven in the vertical direction by means of a motor (40), and which presses a wire to an electrode; a plate spring (31) wherein a displacement corresponding to a pressing load of the capillary (15) occurs; an angle sensor (52) that detects the displacement of the plate spring (31); and a control unit (60) that adjusts the pressing load of the capillary (15). The control unit (60) presses the plate spring (31) by means of the capillary (15) by applying a current of a predetermined value to the motor (40), detects the displacement of the plate spring (31) by means of the angle sensor (52), and corrects the pressing load of the capillary (15) on the basis of the displacement thus detected. Consequently, the pressing load of the bonding tool can be corrected in succession to a bonding operation with a simple configuration.
(FR)Ce dispositif de connexion de fil comprend: un capillaire (15), qui est entraîné dans la direction verticale au moyen d'un moteur (40), et qui presse un fil contre une électrode; un ressort à lame (31), où un déplacement correspondant à une charge de pression du capillaire (15) se produit; un capteur d'angle (52) qui détecte le déplacement du ressort à lame (31); et une unité de commande (60) qui règle la charge de pression du capillaire (15). L'unité de commande (60) presse le ressort à lame (31) au moyen du capillaire (15) en appliquant un courant d'une valeur prédéterminée au moteur (40), détecte le déplacement du ressort à lame (31) au moyen du capteur d'angle (52), et corrige la charge de pression du capillaire (15) sur la base du déplacement ainsi détecté. Par conséquent, la charge de pression de l'outil de connexion peut être corrigée suite à une opération de liaison avec une configuration simple.
(JA)モータ(40)で上下方向に駆動され、電極にワイヤを押圧するキャピラリ(15)と、キャピラリ(15)の押圧荷重に応じた変位が発生する板ばね(31)と、板ばね(31)の変位を検出する角度センサ(52)と、キャピラリ(15)の押圧荷重を調整する制御部(60)と、を備え、制御部(60)は、モータ(40)に所定値の電流を印加して板ばね(31)をキャピラリ(15)で押圧し、角度センサ(52)によって板ばね(31)の変位を検出し、検出した変位に基づいてキャピラリ(15)の押圧荷重を較正する。これにより、簡便な構成でボンディング動作に連続してボンディングツールの押圧荷重の較正が可能となる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)