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Pub. No.:    WO/2018/047896    International Application No.:    PCT/JP2017/032224
Publication Date: 15.03.2018 International Filing Date: 07.09.2017
H01L 21/60 (2006.01), H01L 21/607 (2006.01)
Applicants: SHINKAWA LTD. [JP/JP]; 51-1, Inadaira 2-chome, Musashimurayama-shi, Tokyo 2088585 (JP)
Inventors: SHIOZAWA, Shigeru; (JP).
KOMIYA, Kentaro; (JP)
Agent: YKI PATENT ATTORNEYS; 1-34-12, Kichijoji-Honcho, Musashino-shi, Tokyo 1800004 (JP)
Priority Data:
2016-174325 07.09.2016 JP
(JA) ワイヤボンディング装置
Abstract: front page image
(EN)This wire bonding device is provided with: a capillary (15), which is driven in the vertical direction by means of a motor (40), and which presses a wire to an electrode; a plate spring (31) wherein a displacement corresponding to a pressing load of the capillary (15) occurs; an angle sensor (52) that detects the displacement of the plate spring (31); and a control unit (60) that adjusts the pressing load of the capillary (15). The control unit (60) presses the plate spring (31) by means of the capillary (15) by applying a current of a predetermined value to the motor (40), detects the displacement of the plate spring (31) by means of the angle sensor (52), and corrects the pressing load of the capillary (15) on the basis of the displacement thus detected. Consequently, the pressing load of the bonding tool can be corrected in succession to a bonding operation with a simple configuration.
(FR)Ce dispositif de connexion de fil comprend: un capillaire (15), qui est entraîné dans la direction verticale au moyen d'un moteur (40), et qui presse un fil contre une électrode; un ressort à lame (31), où un déplacement correspondant à une charge de pression du capillaire (15) se produit; un capteur d'angle (52) qui détecte le déplacement du ressort à lame (31); et une unité de commande (60) qui règle la charge de pression du capillaire (15). L'unité de commande (60) presse le ressort à lame (31) au moyen du capillaire (15) en appliquant un courant d'une valeur prédéterminée au moteur (40), détecte le déplacement du ressort à lame (31) au moyen du capteur d'angle (52), et corrige la charge de pression du capillaire (15) sur la base du déplacement ainsi détecté. Par conséquent, la charge de pression de l'outil de connexion peut être corrigée suite à une opération de liaison avec une configuration simple.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)