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1. (WO2018047644) FLOW RATIO CONTROL DEVICE, PROGRAM FOR FLOW RATIO CONTROL DEVICE, AND FLOW RATIO CONTROL METHOD
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Pub. No.: WO/2018/047644 International Application No.: PCT/JP2017/030637
Publication Date: 15.03.2018 International Filing Date: 25.08.2017
IPC:
G05D 7/06 (2006.01) ,G01F 1/00 (2006.01) ,G01F 1/48 (2006.01) ,G05D 11/13 (2006.01)
G PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
D
SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
7
Control of flow
06
characterised by the use of electric means
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
F
MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW, OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1
Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
F
MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW, OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1
Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
05
by using mechanical effects
34
by measuring pressure or differential pressure
48
the pressure or differential pressure being created by a capillary element
G PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
D
SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
11
Ratio control
02
Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material
13
characterised by the use of electric means
Applicants: HORIBA STEC, CO., LTD.[JP/JP]; 11-5, Hokodate-cho, Kamitoba, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018116, JP
Inventors: YASUDA, Tadahiro; US
LOWERY, Patrick Allen; US
WHITE, William Wylie; US
EBERT, Brian James; US
GUNDLACH, Maximilian Martin; US
DICK, John Thomas; US
Agent: NISHIMURA, Ryuhei; JP
Priority Data:
2016-17775212.09.2016JP
Title (EN) FLOW RATIO CONTROL DEVICE, PROGRAM FOR FLOW RATIO CONTROL DEVICE, AND FLOW RATIO CONTROL METHOD
(FR) DISPOSITIF DE COMMANDE DE RAPPORT D'ÉCOULEMENT, PROGRAMME POUR DISPOSITIF DE COMMANDE DE RAPPORT D'ÉCOULEMENT, ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE RAPPORT D'ÉCOULEMENT
(JA) 流量比率制御装置、流量比率制御装置用プログラム、及び、流量比率制御方法
Abstract:
(EN) To provide a flow ratio control device with which it is possible, not only to achieve a target flow ratio, but also to control the time required to achieve the target flow ratio, provided is a flow ratio control device, comprising: a main flow path; a plurality of branch flow paths which branch from a terminal end of the main flow path; a plurality of fluid control devices which are disposed upon each of the branch flow paths, and each of which comprises a valve and a pressure-type flow sensor which is positioned to the downstream side of the valve; and an operation setting unit which, on the basis of a target flow ratio, sets one of the fluid control devices from among the plurality of fluid control devices to operate in a flow speed control mode for controlling a flow speed of a fluid to the upstream side of each of the valves, and sets the other fluid control devices to operate in a flow rate control mode for controlling the flow rate on the basis of a target flow rate.
(FR) L'invention a pour objet de réaliser un dispositif de commande de rapport d'écoulement à l'aide duquel il est possible non seulement d'atteindre un rapport d'écoulement visé, mais également de commander le temps nécessaire pour atteindre le rapport d'écoulement visé; à cette fin, un dispositif de commande de rapport d'écoulement selon l'invention comporte: un parcours d'écoulement principal; une pluralité de parcours d'écoulement de ramification qui se ramifient à partir d'une extrémité terminale du parcours d'écoulement principal; une pluralité de dispositifs de commande de fluide qui sont disposés par-dessus chacun des parcours d'écoulement de ramification, et dont chacun comporte une vanne et un capteur d'écoulement de type à pression qui est positionné du côté aval de la vanne; et une unité de réglage de fonctionnement qui, sur la base d'un rapport d'écoulement visé, règle l'un des dispositifs de commande de fluide parmi la pluralité de dispositifs de commande de fluide pour qu'il fonctionne dans un mode de commande de vitesse d'écoulement servant à commander une vitesse d'écoulement d'un fluide du côté amont de chacune des vannes, et règle les autres dispositifs de commande de fluide pour qu'ils fonctionnent dans un mode de commande de débit servant à commander le débit sur la base d'un débit visé.
(JA) 目標流量比率を達成できるだけでなく、当該目標流量比率を達成するまでにかかる時間を制御できる流量比率制御装置を提供するために、メイン流路と、前記メイン流路の終端から分岐する複数の分岐流路と、各分岐流路に設けられ、それぞれがバルブ、及び、前記バルブの下流側に配置された圧力式の流量センサを具備する複数の流体制御装置と、目標流量比率に基づいて、複数の流体制御装置のうちいずれか1つの流体制御装置には各バルブよりも上流側における流体の流速を制御するための流速制御モードで動作させ、それ以外の流体制御装置には前記目標流量に基づいて流量を制御する流量制御モードで動作させるように設定する動作設定部と、を備えた。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)