Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persist, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO2018042752) SIGNAL ANALYSIS DEVICE, SIGNAL ANALYSIS METHOD, COMPUTER PROGRAM, MEASUREMENT DEVICE, AND MEASUREMENT METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.: WO/2018/042752 International Application No.: PCT/JP2017/016050
Publication Date: 08.03.2018 International Filing Date: 21.04.2017
IPC:
G01N 23/225 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23
Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation not covered by group G01N21/ or G01N22/159
22
by measuring secondary emission
225
using electron or ion microprobe
Applicants:
株式会社堀場製作所 HORIBA, LTD. [JP/JP]; 京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地 2, Miyanohigashicho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018510, JP
Inventors:
越川 浩行 KOSHIKAWA, Hiroyuki; JP
Agent:
河野 英仁 KOHNO, Hideto; JP
河野 登夫 KOHNO, Takao; JP
Priority Data:
2016-16995131.08.2016JP
Title (EN) SIGNAL ANALYSIS DEVICE, SIGNAL ANALYSIS METHOD, COMPUTER PROGRAM, MEASUREMENT DEVICE, AND MEASUREMENT METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE DE SIGNAL, PROCÉDÉ D'ANALYSE DE SIGNAL, PROGRAMME INFORMATIQUE, DISPOSITIF DE MESURE ET PROCÉDÉ DE MESURE
(JA) 信号分析装置、信号分析方法、コンピュータプログラム、測定装置及び測定方法
Abstract:
(EN) Provided are a signal analysis device, signal analysis method, computer program, measurement device, and measurement method for carrying out cluster analysis so as to make it possible to acquire a distribution that has conventionally been difficult to acquire from a spectral distribution. In the present invention, a signal analysis device generates n-dimensional coordinate points defined through the combination of the intensities of n specific signals included in a spectrum; determines a plurality of initial cluster values on an n-dimensional space for the purpose of classifying the plurality of n-dimensional coordinate points; and carries out analysis using the determined initial cluster values. When determining the initial cluster values, the signal analysis device generates an initial cluster value that includes a point on the n-dimensional space that consists of a combination of the representative values for the intensities of the n specific signals and generates initial cluster values that each include an n-dimensional coordinate point where the intensity of one specific signal has deviated from a prescribed standard.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'analyse de signal, un procédé d'analyse de signal, un programme informatique, un dispositif de mesure, et un procédé de mesure pour effectuer une analyse de grappe de façon à permettre l'acquisition d'une distribution classiquement difficile à acquérir à partir d'une distribution spectrale. Dans la présente invention, un dispositif d'analyse de signal génère des points de coordonnées n-dimensionnels définis par la combinaison des intensités de n signaux spécifiques compris dans un spectre ; détermine une pluralité de valeurs de grappe initiales sur un espace n-dimensionnel dans le but de classifier la pluralité de points de coordonnées n-dimensionnels ; et effectue une analyse à l'aide des valeurs de grappe initiales déterminées. Lors de la détermination des valeurs de grappe initiales, le dispositif d'analyse de signal génère une valeur de grappe initiale qui comprend un point sur l'espace n-dimensionnel qui consiste en une combinaison des valeurs représentatives pour les intensités des n signaux spécifiques et génère des valeurs de grappe initiales qui comprennent chacune un point de coordonnées n-dimensionnel où l'intensité d'un signal spécifique a dévié d'une norme prescrite.
(JA) 従来ではスペクトル分布からの取得が困難であった分布の取得を可能にするようにクラスタ分析を行う信号分析装置、信号分析方法、コンピュータプログラム、測定装置及び測定方法を提供する。 信号分析装置は、スペクトル分布中の各点について、スペクトルに含まれるn個の特定信号の強度の組み合わせで定義されるn次元座標点を生成し、複数のn次元座標点を分類するために、n次元空間上の複数のクラスタの初期値を定め、定めた初期値を用いてクラスタ分析を行う。信号分析装置は、クラスタの初期値を定める際に、n個の特定信号の強度の代表値の組み合わせでなるn次元空間上の点が含まれるクラスタの初期値を生成し、一の特定信号の強度が所定の基準から外れているn次元座標点が含まれるクラスタの初期値を生成する。
front page image
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)