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1. (WO2018041696) SYSTEM FOR PARALLEL DATA PROCESSING WITH MULTI-LAYER WORKLOAD MANAGEMENT
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Pub. No.:    WO/2018/041696    International Application No.:    PCT/EP2017/071268
Publication Date: 08.03.2018 International Filing Date: 24.08.2017
IPC:
G06F 9/50 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL).
HERMES MICROVISION, INC.; 7F, No.18, Puding Rd., East Dist. 300 Hsinchu City (TW)
Inventors: FANG, Wei; (US).
ZHANG, Peilei; (US).
HAN, Yanan; (US)
Agent: PETERS, John; (NL)
Priority Data:
62/380,607 29.08.2016 US
62/546,479 16.08.2017 US
Title (EN) SYSTEM FOR PARALLEL DATA PROCESSING WITH MULTI-LAYER WORKLOAD MANAGEMENT
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE DONNÉES EN PARALLÈLE AVEC GESTION DE CHARGE DE TRAVAIL MULTICOUCHE
Abstract: front page image
(EN)A data processing system is disclosed. According to certain embodiments, the system includes a scheduler configured to receive an inspection data set to be processed and to parse the inspection data set into a plurality of workloads including a first set of workloads and a second set of workloads, wherein the inspection data set corresponds to information related to one or more sets of secondary electrons. The system also includes a first sub-scheduler configured to manage a first set of computing nodes for processing the first set of workloads assigned by the scheduler. The system further includes a second sub-scheduler configured to manage a second set of computing nodes for processing the second set of workloads assigned by the scheduler, wherein the first set of workloads and the second set of workloads are concurrently processed by the first and second set of computing nodes.
(FR)La présente invention porte sur un système de traitement de données. Selon certains modes de réalisation, le système comprend un programmateur configuré pour recevoir un ensemble de données d'inspection à traiter et pour analyser l'ensemble de données d'inspection en une pluralité de charges de travail comprenant un premier ensemble de charges de travail et un second ensemble de charges de travail, l'ensemble de données d'inspection correspondant à des informations relatives à un ou plusieurs ensembles d'électrons secondaires. Le système comprend également un premier sous-programmateur configuré pour gérer un premier ensemble de nœuds de calcul afin de traiter le premier ensemble de charges de travail attribuées par le programmateur. Le système comprend en outre un second sous-programmateur configuré pour gérer un second ensemble de nœuds de calcul afin de traiter le second ensemble de charges de travail attribuées par le programmateur, le premier ensemble de charges de travail et le second ensemble de charges de travail étant traités simultanément par le premier et le second ensemble de nœuds de calcul.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)