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1. (WO2018040528) VIBRATION DIAPHRAGM IN MEMS MICROPHONE, AND MEMS MICROPHONE
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Pub. No.: WO/2018/040528 International Application No.: PCT/CN2017/075590
Publication Date: 08.03.2018 International Filing Date: 03.03.2017
IPC:
H04R 7/00 (2006.01)
H ELECTRICITY
04
ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
R
LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
7
Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
Applicants:
歌尔股份有限公司 GOERTEK.INC [CN/CN]; 中国山东省潍坊市 高新技术开发区东方路268号 268 Dongfang Road, Hi-Tech Industry District Weifang City, Shandong 261031, CN
Inventors:
詹竣凯 ZHAN, Junkai; CN
蔡孟锦 CAI, Mengjin; CN
Agent:
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) BEYOND TALENT PATENT AGENT FIRM; 中国北京市 朝阳区朝阳门外大街10号昆泰大厦1202单元 Room 1202, Kuntai Building #10 Chaoyangmenwai Str., Chaoyang District Beijing 100020, CN
Priority Data:
201610784827.531.08.2016CN
Title (EN) VIBRATION DIAPHRAGM IN MEMS MICROPHONE, AND MEMS MICROPHONE
(FR) DIAPHRAGME DE VIBRATION DANS UN MICROPHONE MEMS, ET MICROPHONE MEMS
(ZH) 一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风
Abstract:
(EN) Disclosed are a vibration diaphragm in an MEMS microphone, and an MEMS microphone, comprising a vibration diaphragm body (1) and at least one pressure relief device (2) on the vibration diaphragm body (1) and formed by gaps (a), wherein the gaps (a) comprise at least two sections of circular arc-shaped gaps sequentially connected together, wherein the whole of two adjacent sections of circular arc-shaped gaps is an S-shape and centrosymmetric with respect to a position connected thereto; and the pressure relief device (2) comprises at least two valve clacks formed by at least two sections of adjacent circular arc-shaped gaps and a neck part connected to the valve clacks and the vibration diaphragm body (1) and of a constraint shape. When subjected to a relatively high sound pressure caused by mechanical shock, blowing and falling, for instance, the at least two valve clacks symmetrical in structure can warp upwards or downwards taking respective neck parts as pivots, so that an effective pressure relief path is formed, and the aim of pressure relief is achieved.
(FR) L'invention concerne un diaphragme de vibration dans un microphone MEMS, et un microphone MEMS, comprenant un corps de diaphragme de vibration (1) et au moins un dispositif de décompression (2) sur le corps de diaphragme de vibration (1) et formés par des espaces (a), les espaces (a) comprenant au moins deux sections d'espaces circulaires en forme d'arc reliés séquentiellement l'un à l'autre, l'ensemble de deux sections adjacentes d'espaces circulaires en forme d'arc étant une forme en S et centrosymétrique par rapport à une position reliée à celle-ci ; et le dispositif de décompression (2) comprend au moins deux clapets de soupape formés par au moins deux sections d'espaces circulaires adjacents en forme d'arc et une partie col reliée aux clapets de soupape et au corps de diaphragme de vibration (1) et d'une forme de contrainte. Lorsqu'ils sont soumis à une pression sonore relativement élevée provoquée par un choc mécanique, par soufflage et chute, par exemple, les au moins deux clapets de soupape de structure symétrique peuvent se déformer vers le haut ou vers le bas en prenant des parties de col respectives comme pivots, de sorte qu'un trajet de décompression efficace soit formé, et le but de réduction de pression est obtenu.
(ZH) 一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风,包括振膜本体(1)以及在振膜本体(1)上由缝隙(a)限制成的至少一个泄压装置(2),所述缝隙(a)包括依次承接在一起的至少两段圆弧状缝隙,其中,相邻两段圆弧状缝隙整体呈S形,且相对于其连接的位置呈中心对称,所述泄压装置(2)包括由至少两段相邻的圆弧状缝隙形成的至少两个阀瓣,以及连接阀瓣与振膜本体(1)且呈束缚状的颈部。当受到例如机械冲击、吹气、跌落所带来的较大声压时,结构对称的至少两个阀瓣可以以各自的颈部为支点向上或向下翘起,从而形成了有效的泄压路径,以达到泄压的目的。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)