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1. (WO2018040259) SENSITIVE MEMBRANE AND MEMS MICROPHONE
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Pub. No.: WO/2018/040259 International Application No.: PCT/CN2016/103102
Publication Date: 08.03.2018 International Filing Date: 24.10.2016
IPC:
H04R 7/14 (2006.01)
H ELECTRICITY
04
ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
R
LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
7
Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
02
characterised by the construction
12
Non-planar diaphragms or cones
14
corrugated, pleated, or ribbed
Applicants:
歌尔股份有限公司 GOERTEK. INC [CN/CN]; 中国山东省潍坊市 高新技术开发区东方路268号 268 Dongfang Road, Hi-Tech Industry District Weifang, Shandong 261031, CN
Inventors:
詹竣凯 ZHAN, Junkai; CN
蔡孟锦 CAI, Mengjin; CN
Agent:
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) BEYOND TALENT PATENT AGENT FIRM; 中国北京市 朝阳区朝阳门外大街10号昆泰大厦1202单元 Room 1202, Kuntai Building #10 Chaoyangmenwai Str., Chaoyang District Beijing 100020, CN
Priority Data:
201621023686.731.08.2016CN
Title (EN) SENSITIVE MEMBRANE AND MEMS MICROPHONE
(FR) MEMBRANE SENSIBLE ET MICROPHONE MEMS
(ZH) 一种敏感膜及MEMS麦克风
Abstract:
(EN) The present invention discloses a sensitive membrane and an MEMS microphone, comprising a sensing portion located at a middle part, a connecting portion located at an edge and a motion portion located between the sensing portion and the connecting portion, the sensing portion, the motion portion and the connecting portion being formed integrally, wherein the motion portion is of a corrugated shape or of a rectangular tooth shape; and a first reinforcing portion is also provided at the position of the connecting portion. The sensitive membrane of the present invention integrates the advantages of a traditional spring-type diaphragm and a full diaphragm type structured membrane, and, by setting the form that central region type whole plane sensing can be provided in a middle region, compared with the deformation of a traditional curved surface in the same displacement range, can provide a bigger capacitance variation, thereby improving the overall sensitivity; can provide a bigger displacement for the sensing part via the motion portion with a corrugated shape or a rectangular tooth shape, thereby improving the sensitivity of the sensing portion; and can greatly improve the connecting strength of the sensitive membrane by setting the first reinforcing portion at the position of the connecting portion, thereby improving the shock resistance of the sensitive membrane.
(FR) La présente invention concerne une membrane sensible et un microphone MEMS, comprenant une partie de détection située au niveau d'une partie centrale, une partie de liaison située au niveau d'un bord et une partie de mouvement située entre la partie de détection et la partie de liaison, la partie de détection, la partie de mouvement et la partie de liaison étant formées d'un seul tenant, la partie de mouvement ayant une forme ondulée ou une forme de dent rectangulaire; et une première partie de renforcement est également disposée au niveau de la position de la partie de liaison. La membrane sensible de la présente invention intègre les avantages d'un diaphragme de type ressort traditionnel et d'une membrane structurée de type à diaphragme complet, et, en définissant la forme dans laquelle une détection de plan entier de type région centrale peut être réalisée dans une région centrale, par rapport à la déformation d'une surface incurvée classique dans la même plage de déplacement, peut fournir une variation de capacité plus grande, ce qui permet d'améliorer la sensibilité globale; peut fournir un déplacement plus grand pour la partie de détection par l'intermédiaire de la partie de mouvement avec une forme ondulée ou une forme de dent rectangulaire, ce qui permet d'améliorer la sensibilité de la partie de détection; et peut améliorer considérablement la force de liaison de la membrane sensible en réglant la première partie de renforcement au niveau de la position de la partie de liaison, ce qui permet d'améliorer la résistance aux chocs de la membrane sensible.
(ZH) 本发明公开了一种敏感膜及MEMS麦克风,包括位于中部的感测部、位于边缘的连接部,以及位于感测部与连接部之间的动作部;所述感测部、动作部、连接部是一体成型的;其中,所述动作部呈波纹状或者矩形齿状;在所述连接部的位置还设置有第一补强部。本发明的敏感膜,整合了传统弹簧式膜片以及全膜式结构膜的优点,通过设置在中部区域可提供中央区域类全平面感测的形式,在相同的位移区间内相较于传统曲面形变,可提供更大的电容变化量,从而提高整体灵敏度;通过呈波纹状或者矩形齿状的动作部可为感测部提供更大的位移量,从而可以提高感测部的灵敏度;通过设置在连接部位置的第一补强部可以大大提高敏感膜的连接强度,从而可以提高敏感膜的抗冲击能力。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)