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1. (WO2018038193) PRESSURE TYPE FLOW RATE CONTROL DEVICE, AND FLOW RATE CALCULATING METHOD AND FLOW RATE CONTROL METHOD FOR SAME
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Pub. No.:    WO/2018/038193    International Application No.:    PCT/JP2017/030251
Publication Date: 01.03.2018 International Filing Date: 24.08.2017
IPC:
G01F 1/50 (2006.01), G05D 7/06 (2006.01)
Applicants: FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012 (JP)
Inventors: NAGASE Masaaki; (JP).
HIRATA Kaoru; (JP).
NISHINO Kouji; (JP).
IKEDA Nobukazu; (JP)
Agent: TANIDA Ryuichi; (JP).
SUGIMOTO Takeo; (JP)
Priority Data:
2016-163883 24.08.2016 JP
Title (EN) PRESSURE TYPE FLOW RATE CONTROL DEVICE, AND FLOW RATE CALCULATING METHOD AND FLOW RATE CONTROL METHOD FOR SAME
(FR) DISPOSITIF DE RÉGULATION DE DÉBIT DE TYPE À PRESSION, ET PROCÉDÉ DE CALCUL DE DÉBIT ET PROCÉDÉ DE RÉGULATION DE DÉBIT POUR CELUI-CI
(JA) 圧力式流量制御装置、その流量算出方法および流量制御方法
Abstract: front page image
(EN)In a state in which a pressure P1 on an upstream side of an orifice 5 is maintained at a pressure equal to or greater than approximately twice a pressure P2 on a downstream side thereof, a pressure type flow rate control device 1 calculates a flow factor FF of a mixed gas using an average density ρ, an average specific heat ratio κ and an average gas constant R of the mixed gas, calculated by weighting the density, specific heat ratio and gas constant of each of two types of gas which constitute the mixed gas, using for the weighting a mixing ratio of the two types of gas, where said mixing ratio is X : (1-X), and where the flow factor FF is calculated as FF=(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ-1)[κ/{(κ+1)R}]1/2. A flow rate Q of the mixed gas passing through the orifice is calculated as Q=FF·S·P1(1/T1)1/2, where S is the cross-sectional area of the orifice, P1 is the pressure of the mixed gas on the upstream side of the orifice, and T1 is the temperature of the mixed gas on the upstream side of the orifice.
(FR)Selon la présente invention, dans un état dans lequel une pression P1 sur un côté amont d’un orifice 5 est maintenue à une pression égale ou supérieure à environ deux fois une pression P2 sur un côté aval de celui-ci, un dispositif de régulation de débit de type à pression 1 calcule un facteur d’écoulement FF d’un gaz mixte au moyen d’une masse volumique moyenne ρ, un coefficient de chaleur spécifique moyen κ et une constante de gaz moyenne R du gaz mixte, calculé par pondération de la masse volumique, du coefficient de chaleur spécifique et une constante de gaz de chacun de deux types de gaz qui constituent le gaz mixte, en utilisant pour la pondération un rapport de mélange des deux types de gaz, où ledit rapport de mélange est X : (1-X), et où le facteur d’écoulement FF est calculé par FF=(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ-1)[κ/{(κ+1)R}]1/2. Un débit Q du gaz mixte traversant l’orifice est calculé par Q=FF·S·P1(1/T1)1/2, où S est l’aire de section transversale de l’orifice, P1 est la pression du gaz mixte sur le côté amont de l’orifice, et T1 est la température du gaz mixte sur le côté amont de l’orifice.
(JA)圧力式流量制御装置1は、オリフィス5の上流側圧力P1を下流側圧力P2の約2倍以上に保持した状態で、混合ガスを構成する2種類のガスの混合比がX:(1-X)であり、2種類のガスの密度、比熱比及び気体定数を混合比率で重み付けして算出した混合ガスの平均密度ρ、平均比熱比κ及び平均気体定数Rを用いて、混合ガスのフローファクターFFを、FF=(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ-1)[κ/{(κ+1)R}]1/2により算出し、オリフィスを通過する混合ガスの流量Qを、オリフィス断面積をS、オリフィスの上流側の混合ガスの圧力をP1、温度をT1として、Q=FF・S・P1(1/T11/2により算出する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)