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1. (WO2018038068) STRAIN SENSOR
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Pub. No.: WO/2018/038068 International Application No.: PCT/JP2017/029847
Publication Date: 01.03.2018 International Filing Date: 22.08.2017
IPC:
G01L 9/00 (2006.01)
[IPC code unknown for G01L 9]
Applicants:
日本特殊陶業株式会社 NGK SPARK PLUG CO., LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 14-18,Takatsuji-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi 4678525, JP
Inventors:
塙 裕一郎 HANAWA Yuichiro; JP
森 高 MORI Takashi; JP
松岡 俊幸 MATSUOKA Toshiyuki; JP
水野 卓也 MIZUNO Takuya; JP
Agent:
青木 昇 AOKI Noboru; JP
中島 浩貴 NAKAJIMA Hiroki; JP
Priority Data:
2016-16230623.08.2016JP
Title (EN) STRAIN SENSOR
(FR) CAPTEUR DE CONTRAINTE
(JA) 歪みセンサ
Abstract:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a strain sensor that can be used in high-temperature environments of roughly 350°C. Provided is a strain sensor that is configured so that a semiconductor element which includes silicon and serves as a strain gauge is bonded via glass onto a diaphragm formed from a metal member. The strain sensor is configured as follows: the metal member is a Ni-based heat resistant alloy for which the metal-member mean coefficient of linear expansion in a temperature range of 50-350°C is 12.1-21.2 ppm/°C; the glass has a glass transition point of higher than 350°C, and the mean coefficient of linear expansion thereof in a temperature range of 50-350°C is lower than the metal-member mean coefficient of linear expansion in a temperature range of 50-350°C, and at least the semiconductor-element mean coefficient of linear expansion in a temperature range of 50-350°C; and the difference between the glass mean coefficient of linear expansion and the metal-member mean coefficient of linear expansion is 3.3-10.2 ppm/°C.
(FR) Le but de la présente invention est de fournir un capteur de contrainte qui peut être utilisé dans des environnements à haute température d'approximativement 350 °C. L'invention concerne un capteur de contrainte qui est conçu de telle sorte qu'un élément semi-conducteur qui comprend du silicium et sert de jauge de contrainte est collé par du verre sur un diaphragme formé à partir d'un élément métallique. Le capteur de contrainte est configuré de la manière suivante : l'élément métallique est un alliage résistant à la chaleur à base de Ni pour lequel le coefficient de dilatation linéaire moyen de l'élément métallique dans une plage de température de 50 à 350 °C est de 12,1 à 21,2 ppm/°C ; le verre présente un point de transition vitreuse supérieur à 350 °C, et son coefficient de dilatation linéaire moyen dans une plage de température de 50 à 350 °C est inférieur au coefficient de dilatation linéaire moyen de l'élément métallique dans une plage de température de 50 à 350 °C, et au moins le coefficient de dilatation linéaire moyen de l'élément semi-conducteur dans une plage de température de 50 à 350 °C ; et la différence entre le coefficient de dilatation linéaire moyen du verre et le coefficient de dilatation linéaire moyen de l'élément métallique est de 3,3 à 10,2 ppm/°C.
(JA) 350℃程度の高温の環境下で使用できる歪みセンサを提供する。 歪みセンサは、金属部材からなるダイヤフラムの上に、シリコンを含む歪ゲージとしての半導体素子を、ガラスを介して接合した歪みセンサが提供される。この歪みセンサは、金属部材が、50℃以上350℃以下の温度範囲における金属部材の平均線膨張係数が、12.1ppm/℃以上21.2ppm/℃以下であるNi基耐熱合金であり;ガラスが、350℃より高いガラス転移点を有すると共に、50℃以上350℃以下の温度範囲における平均線膨張係数が、50℃以上350℃以下の温度範囲における金属部材の平均線膨張係数よりも低く、且つ50℃以上350℃以下の温度範囲における前記半導体素子の平均線膨張係数以上であり;ガラスの平均線膨張係数と金属部材の平均線膨張係数との差が3.3ppm/℃以上10.2ppm/℃以下である。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)