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1. (WO2018038064) ELLIPSOMETRY DEVICE AND ELLIPSOMETRY METHOD
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Pub. No.:    WO/2018/038064    International Application No.:    PCT/JP2017/029829
Publication Date: 01.03.2018 International Filing Date: 21.08.2017
IPC:
G01J 4/04 (2006.01), G03H 1/04 (2006.01)
Applicants: UNIVERSITY OF HYOGO [JP/JP]; 8-2-1, Gakuennishi-machi, Nishi-ku, Kobe-shi, Hyogo 6512197 (JP)
Inventors: SATO, Kunihiro; (JP)
Agent: ITAYA, Yasuo; (JP)
Priority Data:
2016-163989 24.08.2016 JP
Title (EN) ELLIPSOMETRY DEVICE AND ELLIPSOMETRY METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ELLIPSOMÉTRIE ET PROCÉDÉ D'ELLIPSOMÉTRIE
(JA) エリプソメトリ装置およびエリプソメトリ方法
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides an ellipsometry device and method whereby measurement efficiency can be enhanced. In this method, an object is illuminated by spherical-wave illumination light Q linearly polarized at 45° (S1), and object light O as reflected light is acquired in a hologram IOR using a spherical-wave reference light R having a focal point near the focal point of the illumination light Q, and a hologram ILR of the reference light R is furthermore acquired using spherical-wave reference light L having the same focal point as the illumination light Q (S2). The holograms are separated into p- and s-polarized light holograms IκOR, IκLR (κ = p, s) and processes, object light waves are extracted, and an object light spatial frequency spectrum Gκ(u, v) (κ = p, s) is generated (S3) (S4). An ellipsometry angle Ψ(θ), Δ(θ) is obtained for each incidence angle θ from the amplitude reflection coefficient ratio ρ = Gp/Gs = tanΨ∙exp(iΔ). Through use of numerous lights having different incidence angles θ included by the illumination light Q, data of numerous reflection lights can be acquired at once in a hologram and processed.
(FR)La présente invention concerne un dispositif et un procédé d'ellipsométrie permettant d'améliorer l'efficacité de mesure. Dans ce procédé, un objet est éclairé par une lumière d'éclairage d'onde sphérique Q linéairement polarisée à 45° (S1), et la lumière d'objet O en tant que lumière réfléchie est acquise dans un hologramme IOR à l'aide d'une lumière de référence d'onde sphérique R ayant un point focal proche du point focal de la lumière d'éclairage Q, et un hologramme ILR de la lumière de référence R est en outre acquis à l'aide d'une lumière de référence d'onde sphérique L ayant le même point focal que la lumière d'éclairage Q (S2). Les hologrammes sont séparés en hologrammes de lumière à polarisation p et s IκOR, IκLR (κ = p, s) et sont traités, des ondes de lumière d'objet sont extraites, et un spectre de fréquence spatiale de lumière d'objet Gκ(u, v) (κ = p, s) est généré (S3) (S4). Un angle d'ellipsométrie Ψ(θ), Δ(θ) est obtenu pour chaque angle d'incidence θ à partir du rapport de coefficient de réflexion d'amplitude ρ = Gp/Gs = tanΨ∙exp(iΔ). Grâce à l'utilisation de nombreuses lumières ayant des angles d'incidence θ différents inclus par la lumière d'éclairage Q, des données de nombreuses lumières de réflexion peuvent être acquises en une seule fois dans un hologramme et être traitées.
(JA)本発明は、測定効率を向上できるエリプソメトリ装置および方法を提供する。本方法は、45°直線偏光した球面波状の照明光Qで物体を照明し(S1)、照明光Qの集光点近くに集光点を有する球面波状の参照光Rを用いて、反射光である物体光OをホログラムIORに取得し、さらに照明光Qと同じ集光点を有する球面波参照光Lで参照光RのホログラムILRを取得する(S2)。各ホログラムをp,s偏光の各ホログラムIκOR,IκLR,κ=p,sに分離して処理し、物体光波を抽出して、物体光空間周波数スペクトルGκ(u,v),κ=p,sを生成する(S3)(S4)。振幅反射係数比ρ=G/G=tanΨ・exp(iΔ)から入射角θ毎のエリプソメトリ角Ψ(θ),Δ(θ)を得る。照明光Qが含む入射角θの異なる多数の光によって、多数の反射光のデータをホログラムに一括取得して処理できる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)