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1. (WO2018037993) DIAPHRAGM VALVE, AND FLOW RATE CONTROL DEVICE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
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Pub. No.: WO/2018/037993 International Application No.: PCT/JP2017/029537
Publication Date: 01.03.2018 International Filing Date: 17.08.2017
IPC:
F16K 7/12 (2006.01)
F MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16
ENGINEERING ELEMENTS OR UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
K
VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
7
Diaphragm cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage
12
with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
Applicants:
株式会社キッツエスシーティー KITZ SCT CORPORATION [JP/JP]; 東京都大田区大森北一丁目5番1号 5-1, Ohmori-Kita 1-chome, Ohta-ku Tokyo 1430016, JP
Inventors:
高 朝克図 KOU Chokuto; JP
Agent:
小林 哲男 KOBAYASHI, Tetsuo; JP
Priority Data:
2016-16448925.08.2016JP
Title (EN) DIAPHRAGM VALVE, AND FLOW RATE CONTROL DEVICE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
(FR) SOUPAPE À DIAPHRAGME, ET DISPOSITIF DE COMMANDE DE DÉBIT POUR ÉQUIPEMENT DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR
(JA) ダイヤフラムバルブと半導体製造装置用流量制御機器
Abstract:
(EN) Provided is a diaphragm valve having a simple and optimal configuration such that it is possible to reliably increase the valve flow rate while avoiding size increases of the valve caused by increasing the diameter of a valve seat, increasing the stroke length, or the like, and it is also possible to maintain or increase the durability and life of the valve. Also provided is a flow rate control device for semiconductor manufacturing equipment. More specifically, this diaphragm valve comprises a valve seat portion and a diaphragm, the outer periphery of which is pressed against the valve chamber of a body having an inflow path and an outflow path, the diaphragm being provided so that the valve chamber is opened and closed by the vertical movement of a stem. The shape of the diaphragm is substantially flat in cross section, which has a central region that has a substantially flat shape and a boundary region that is located further toward the outer peripheral side than the central region and has a radius of curvature smaller than the central region. The boundary region is in the vicinity of the outer periphery of the valve seat portion.
(FR) L'invention concerne une soupape à diaphragme présentant une configuration simple et optimale de telle sorte qu'il est possible d'augmenter de manière fiable le débit de soupape tout en évitant des augmentations de taille de la soupape provoquées par l'augmentation du diamètre d'un siège de soupape, l'augmentation de la longueur de course, ou similaire, et il est également possible de maintenir ou d'augmenter la durabilité et la durée de vie de la soupape. L'invention concerne également un dispositif de commande de débit pour un équipement de fabrication de semi-conducteur. Plus spécifiquement, cette soupape à diaphragme comprend une partie siège de soupape et un diaphragme, dont la périphérie extérieure est pressée contre la chambre de soupape d'un corps présentant un trajet d'entrée et un trajet de sortie, le diaphragme étant disposé de telle sorte que la chambre de soupape est ouverte et fermée par le mouvement vertical d'une tige. La forme du diaphragme est sensiblement plate en coupe transversale, qui présente une région centrale qui a une forme sensiblement plate et une région de limite qui est située plus loin vers le côté périphérique externe que la région centrale et a un rayon de courbure plus petit que la région centrale. La région de limite est au voisinage de la périphérie externe de la partie siège de soupape.
(JA) 弁座の大径化やストロークの増大などによるバルブの大型化を回避しつつバルブ流量を確実に増大可能であり、しかも、バルブの耐久性・寿命をも維持乃至向上可能とした、簡易かつ最適に構成されたダイヤフラムバルブと半導体製造装置用流量制御機器を提供することにある。 すなわち、流入流路と流出流路を有するボデーの弁室に外周囲を押圧したダイヤフラムと弁座シート部とを備え、このダイヤフラムをステムの昇降動により弁室を開閉自在に設けたダイヤフラムバルブであって、このダイヤフラムの形態は、略平面状の中央領域と、中央領域よりも外周側で且つ曲率半径が小さい境界領域とを有する断面略扁平形状を呈し、境界領域は、弁座シート部の外周側近傍に位置させたダイヤフラムバルブである。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)