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1. (WO2018037440) TIME-OF-FLIGHT MASS SPECTROMETRY DEVICE
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Pub. No.: WO/2018/037440 International Application No.: PCT/JP2016/074336
Publication Date: 01.03.2018 International Filing Date: 22.08.2016
IPC:
H01J 49/40 (2006.01) ,G01N 27/62 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49
Particle spectrometers or separator tubes
26
Mass spectrometers or separator tubes
34
Dynamic spectrometers
40
Time-of-flight spectrometers
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27
Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
62
by investigating the ionisation of gases; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
Applicants: SHIMADZU CORPORATION[JP/JP]; 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511, JP
Inventors: MIZUTANI, Shiro; JP
Agent: KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE; Hougen-Sizyokarasuma Building, 37, Motoakuozi-tyo, Higasinotouin Sizyo-sagaru, Simogyo-ku, Kyoto-si, Kyoto 6008091, JP
Priority Data:
Title (EN) TIME-OF-FLIGHT MASS SPECTROMETRY DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SPECTROMÉTRIE DE MASSE À TEMPS DE VOL
(JA) 飛行時間型質量分析装置
Abstract:
(EN) In this invention, an acceleration voltage generation unit (7) causes a direct-current high-voltage that is generated at a high-voltage power source unit (75) to be driven ON and OFF by a switch unit (74) to generate a high-voltage pulse to be applied to a pusher electrode (11). A driving pulse signal is supplied to the switch unit (74) from a control unit (6) through a primary side drive unit (71), a transformer (72), and a secondary side drive unit (73). A primary voltage control unit (61) receives from a temperature sensor (77) the results of temperature measurements in the surroundings of the acceleration voltage generation unit (7) and controls a primary side power source unit (76) so that the primary side voltage is changed in response to this temperature. This adjusts the voltage applied to both ends of the primary winding of the transformer (72). A change in the surrounding temperature changes the characteristics of a MOSFET, or the like, in the switch unit (74), shifting the rise and fall timing of the high-voltage pulse; however, the adjustment of the primary side voltage changes the inclination of the slope of the MOSFET gate voltage rise, allowing the shift in the rise and fall timing of the high-voltage pulse to be corrected. As a result, a high mass accuracy can be achieved regardless of the surrounding temperature.
(FR) La présente invention concerne une unité de génération de tension d'accélération (7) entraînant la mise en marche et à l'arrêt d'une haute tension à courant continu qui est générée au niveau d'une unité de source d'alimentation électrique haute tension (75) par une unité de commutation (74) afin de générer une impulsion haute tension à appliquer à une électrode de poussée (11). Un signal impulsionnel d'attaque est fourni par une unité de commande (6) à l'unité de commutation (74) par le biais d'une unité d'attaque côté primaire (71), d'un transformateur (72) et d'une unité d'attaque côté secondaire (73). Une unité de commande de tension primaire (61) reçoit, à partir d'un capteur de température (77), les résultats de mesures de température dans l'environnement de l'unité de génération de tension d'accélération (7) et commande une unité de source d'alimentation côté primaire (76) de sorte que la tension côté primaire soit modifiée en réponse à cette température. La tension appliquée aux deux extrémités de l'enroulement primaire du transformateur (72) est ainsi réglée. Un changement de la température environnante modifie les caractéristiques d'un MOSFET, ou analogue, dans l'unité de commutation (74), en décalant la synchronisation d'élévation et de descente de l'impulsion haute tension ; cependant, le réglage de la tension côté primaire change l'inclinaison de la pente de l'élévation de tension de grille de MOSFET, ce qui permet de corriger le décalage de la synchronisation d'élévation et de descente de l'impulsion haute tension. En conséquence, une grande précision de masse peut être obtenue quelle que soit la température environnante.
(JA) 加速電圧発生部(7)は、高電圧電源部(75)で生成された直流高電圧をスイッチ部(74)でオン/オフ駆動し、押出電極(11)に印加する高電圧パルスを生成する。スイッチ部(74)には、制御部(6)から一次側ドライブ部(71)、トランス(72)、二次側ドライブ部(73)を経て駆動用パルス信号が供給される。一次電圧制御部(61)は、加速電圧発生部(7)の周囲温度の計測結果を温度センサ(77)から受け、その温度に応じて一次側電圧を変更するように一次側電源部(76)を制御する。これにより、トランス(72)の一次巻線両端への印加電圧が調整される。周囲温度が変化するとスイッチ部(74)のMOSFET等の特性が変化して高電圧パルスの立上り/立下りのタイミングがズレるが、上記一次側電圧の調整により、MOSFETのゲート電圧の立上りのスロープの傾斜を変化させ、高電圧パルスの立上り/立下りのタイミングのズレを補正することができる。その結果、周囲温度に拘わらず高い質量精度を実現できる。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)