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1. (WO2018036930) DEVICE AND METHOD FOR LASER-ASSISTED MACHINING OF BODIES OR SURFACES
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Pub. No.: WO/2018/036930 International Application No.: PCT/EP2017/070960
Publication Date: 01.03.2018 International Filing Date: 18.08.2017
IPC:
B29C 67/00 (2017.01) ,G03F 7/00 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
C
SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE, IN GENERAL; AFTER- TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
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Shaping techniques not covered by groups B29C39/-B29C65/93
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
G PHYSICS
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PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Exposure; Apparatus therefor
Applicants:
MULTIPHOTON OPTICS GMBH [DE/DE]; Friedrich-Bergius-Ring 15 Building C 97076 Würzburg, DE
Inventors:
HOUBERTZ, Ruth; DE
KRUPP, Alexander; DE
STENDER, Benedikt; DE
Agent:
STREHL, SCHÜBEL-HOPF & PARTNER MBB; Maximilianstrasse 54 80538 München, DE
Priority Data:
16185821.226.08.2016EP
Title (EN) DEVICE AND METHOD FOR LASER-ASSISTED MACHINING OF BODIES OR SURFACES
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'USINAGE LASER DE CORPS ET/OU DE SURFACES
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR LASERGESTÜTZTEN BEARBEITUNG VON KÖRPERN ODER OBERFLÄCHEN
Abstract:
(EN) The invention relates to a device for the laser-assisted machining of a material adhering to a substrate, or a substrate-associated or substrate-free body or the surface thereof, particularly by TPA/MPA and/or by treatment with an ultrashort pulse laser, said device comprising: a positioning system (9, 10, 11) that enables three translational and three rotational degrees of freedom and comprises a sample-receiving element, where the sample-receiving element is designed such that it can hold the substrate (7) to which the material to be machined adheres or with which the body to be machined is associated, or - in the absence of a substrate - the body (7) to be machined; a laser source (1) that can send laser pulses or laser pulse sequences; and an optical focusing element (6) that can form the laser pulses or laser pulse sequences such that they strike in a focal spot or in a focal space in the region of the material or body to be machined, in such a way that a two-photon or multiphoton polymerisation can take place there, or they strike in a focal point or in a focal space in the region of the body in such a way that material located in said focal point or focal space is subjected to the desired chemical and/or physical changes. A plurality of machining methods can be carried out using said device.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'usinage laser d'un matériau adhérant à un substrat ou d'un corps associé à un substrat ou dépourvu de substrat ou de la surface dudit corps, notamment par TPA/MPA et/ou par traitement au moyen d'un laser à impulsions ultracourtes, présentant - un système de positionnement (9, 10, 11) qui permet trois degrés de liberté en translation et trois degrés de liberté en rotation et présente un logement d'échantillon, ce dernier étant conçu de manière à pouvoir maintenir le substrat (7), auquel adhère le matériau à usiner ou auquel est associé le corps à usiner, ou - en l'absence d'un substrat - le corps à usiner (7), - une source laser (1) pouvant émettre des impulsions laser ou des séquences d'impulsions laser, et - une optique de focalisation (6) pouvant mettre en forme les impulsions laser ou les séquences d'impulsions laser de sorte qu'elles frappent un foyer ou un volume focal dans la zone du matériau ou du corps à usiner de façon à y provoquer une polymérisation biphotonique ou multiphotonique ou bien de sorte qu'elles frappent un foyer ou un volume focal dans la zone du corps de façon à ce que le matériau se trouvant dans ce foyer ou dans ce volume focal soit soumis aux modifications chimiques et/ou physiques voulues. L'utilisation de ce dispositif permet de mettre en oeuvre une pluralité de procédés d'usinage.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum lasergestützten Bearbeiten eines an einem Substrat anhaftenden Materials oder eines substratassoziierten oder substratfreien Körpers oder von dessen Oberfläche, insbesondere durch TPA/MPA und/oder durch Behandlung mit einem Ultrakurzpulslaser, aufweisend - ein Positioniersystem (9, 10, 11), das drei translatorische und drei rotatorische Freiheitsgrade ermöglicht und eine Probenaufnahme aufweist, wobei die Probenaufnahme so ausgebildet ist, dass sie das Substrat (7), an dem das zu bearbeitende Material haftet oder mit dem der zu bearbeitende Körper assoziiert ist, oder - in Abwesenheit eines Substrats - den zu bearbeitenden Körper (7) halten kann, - eine Laserquelle (1), die Laserpulse bzw. Laserpulsfolgen aussenden kann, und -eine Fokussieroptik (6), die die Laserpulse bzw. Laserpulsfolgen so formen kann, dass diese in einem Brennpunkt oder einem fokalen Volumen im Bereich des zu bearbeitenden Materials bzw. Körpers derart auftreffen, dass dort eine 2- oder Mehrphotonenpolymerisation stattfinden kann, oder dass diese in einem Brennpunkt oder in einem fokalen Volumen im Bereich des Körpers derart auftreffen, dass in diesem Brennpunkt oder fokalen Volumen befindliches Material den gewünschten chemischen und/oder physikalischen Veränderungen unterworfen wird. Eine Vielzahl von Bearbeitungsverfahren ist unter Einsatz dieser Vorrichtung möglich.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)