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1. (WO2018036488) GRAPHITE BOAT TRANSPORT MECHANISM USED IN PECVD APPARATUS
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Pub. No.: WO/2018/036488 International Application No.: PCT/CN2017/098530
Publication Date: 01.03.2018 International Filing Date: 22.08.2017
IPC:
C23C 16/44 (2006.01)
C CHEMISTRY; METALLURGY
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COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
C
COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition (CVD) processes
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characterised by the method of coating
Applicants:
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 SHENZHEN HEADQUARTER: S.C NEW ENERGY TECHNOLOGY CORPORATION [CN/CN]; 中国广东省深圳市 龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷(涌鑫工业园)D栋 Buildding D ( Yongxin Industrial Park) Digital Silicon Valley, 89# Hengping Road Henggang Street, Longgang District Shenzhen, Guangdong 518000, CN
Inventors:
肖岳南 XIAO, Yuenan; CN
张勇 ZHANG, Yong; CN
Agent:
深圳市康弘知识产权代理有限公司 SHENZHEN KANGHONG INTELLECTUAL PROPERTY AGENT CO., LTD; 中国广东省深圳市 福田区彩田路5015号中银花园办公楼A栋6C1 6C1, Building A, Zhong Yin Building No.5015, Caitian Rd., Futian District Shenzhen, Guangdong 518026, CN
Priority Data:
201620938505.725.08.2016CN
Title (EN) GRAPHITE BOAT TRANSPORT MECHANISM USED IN PECVD APPARATUS
(FR) MÉCANISME DE TRANSPORT DE PORTE-ÉCHANTILLON EN GRAPHITE UTILISÉ DANS UN APPAREIL DE PECVD
(ZH) 一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构
Abstract:
(EN) A graphite boat transport mechanism used in a PECVD apparatus. The graphite boat transport mechanism comprises: a vertical column (1) fixed to one side within a PECVD apparatus (9); a boat-pushing mechanism (2) fixed to another side within the PECVD apparatus (9); and a lateral boat-discharging mechanism (6) fixed to a bottom of the PECVD apparatus (9). The column (1) is fixedly provided, at intervals from top to bottom, with a plurality of temporary storage areas (3). The temporary storage area (3) has a temporary storage area central line (31) in a vertical direction. The boat-pushing mechanism (2) has a horizontally-extending SiC paddle (4). An elevator channel area (5) is provided between the SiC paddle (4) and the temporary storage area (3). The column (1) is also provided with a robotic arm (7) that moves up and down along the column (1). The robotic arm (7) grasps a graphite boat from the SiC paddle (4) and transport the graphite boat to within the elevator channel area (5). The lateral boat-discharging mechanism (6) is fixed to the bottom of the PECVD apparatus (9) at a location directly below the temporary storage area (3). The graphite boat transport mechanism prevents collisions between the robotic arm and a graphite boat transported on the lateral boat-discharging mechanism when the robotic arm grasps a graphite boat from a low position on the SiC paddle and transports the grasped graphite boat to the elevator channel area.
(FR) L'invention concerne un mécanisme de transport de porte-échantillon en graphite utilisé dans un appareil de PECVD. Le mécanisme de transport de porte-échantillon en graphite comprend : une colonne verticale (1) fixée à un côté à l'intérieur d'un appareil de PECVD (9); un mécanisme de poussée de porte-échantillon (2) fixé à un autre côté à l'intérieur de l'appareil de PECVD (9); et un mécanisme de déchargement latéral (6) de porte-échantillon fixé à une partie inférieure de l'appareil de PECVD (9). Plusieurs zones de stockage temporaire (3) sont agencées à demeure à des intervalles de haut en bas au niveau de la colonne (1). La zone de stockage temporaire (3) comporte une ligne centrale (31) de zone de stockage temporaire dans une direction verticale. Le mécanisme de poussée de porte-échantillon (2) comporte une palette en SiC s'étendant horizontalement (4). Une zone de canal d'élévateur (5) est disposée entre la palette en SiC (4) et la zone de stockage temporaire (3). La colonne (1) est également pourvue d'un bras robotique (7) qui se déplace de haut en bas le long de la colonne (1). Le bras robotique (7) saisit un porte-échantillon en graphite de la palette en SiC (4) et transporte le porte-échantillon en graphite vers l'intérieur de la zone de canal d'élévateur (5). Le mécanisme de déchargement latéral (6) de porte-échantillon est fixé à la partie inférieure de l'appareil de PECVD (9) à une position située directement sous la zone de stockage temporaire (3). Le mécanisme de transport de porte-échantillon en graphite empêche des collisions entre le bras robotique et un porte-échantillon en graphite transporté sur le mécanisme de déchargement latéral de porte-échantillon lorsque le bras robotique saisit un porte-échantillon en graphite à partir d'une position basse sur la palette en SiC et transporte le porte-échantillon en graphite saisi vers la zone de canal d'élévateur.
(ZH) 一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构,包括固定于PECVD设备(9)内一侧的竖直向上的立柱(1),固定于PECVD设备(9)内另一侧的推舟机构(2)以及固定于PECVD设备(9)底部的侧向出舟机构(6),立柱(1)上由上至下固定有多个间隔开的暂存区(3),该暂存区具有竖直方向的暂存区中心线(31),推舟机构(2)上水平伸出一SIC桨(4),SIC桨(4)与暂存区(3)之间设有升降通道区(5),立柱(1)上还设有一沿该立柱(1)上下运动的机械手(7),手抓取SIC桨(4)上的石墨舟后传输到升降通道区(5)内,侧向出舟机构(6)固定于PECVD设备(9)底部的位置位于暂存区(3)的正下方。该石墨舟传送机构,在SIC桨的取放舟位置较低时,机械手在抓取SIC桨上的石墨舟后传输到升降通道区时不会与侧向出舟机构上传输的石墨舟发生碰撞。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)