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1. (WO2018035957) ASPHERIC COMPENSATING LENS, AND ASPHERIC OPTICAL DETECTION SYSTEM AND METHOD
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Pub. No.: WO/2018/035957 International Application No.: PCT/CN2016/103514
Publication Date: 01.03.2018 International Filing Date: 27.10.2016
IPC:
G02B 27/00 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27
Other optical systems; Other optical apparatus
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9
Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02
Interferometers
Applicants:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 CHANGCHUN INSTITUTE OF OPTICS, FINE MECHANICS AND PHYSICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCE [CN/CN]; 中国吉林省长春市 东南湖大路3888号 Dong Nanhu Road 3888 Changchun, Jilin 130033, CN
Inventors:
高松涛 GAO, Songtao; CN
苗二龙 MIAO, Erlong; CN
武东城 WU, Dongcheng; CN
隋永新 SUI, Yongxin; CN
杨怀江 YANG, Huaijiang; CN
Agent:
中科专利商标代理有限责任公司 CHINA SCIENCE PATENT & TRADEMARK AGENT LTD.; 中国北京市 海淀区西三环北路87号4-1105室 Suite 4-1105, No. 87, West 3rd Ring North Rd., Haidian District Beijing 100089, CN
Priority Data:
201610709908.923.08.2016CN
Title (EN) ASPHERIC COMPENSATING LENS, AND ASPHERIC OPTICAL DETECTION SYSTEM AND METHOD
(FR) LENTILLE DE COMPENSATION ASPHÉRIQUE, ET SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION OPTIQUE ASPHÉRIQUE
(ZH) 一种非球面补偿镜、非球面光学检测系统及方法
Abstract:
(EN) An aspheric compensating lens (S1), and an aspheric optical detection system and method. The aspheric optical detection system comprises: an aspheric compensating lens (S1) comprising a reference surface (S2) and at least one compensating surface, wherein the reference surface (S2) is used to reflect light incident along a normal line to the reference surface (S2) and then return same along the original path so as to form reference light; light penetrating through the reference surface (S2) and the at least one compensating surface forms an aspheric wave matching an aspheric surface to be detected (S3), and light in the aspheric wave is incident along a normal line to the aspheric surface, and returns along the original light path after being reflected by the aspheric surface to be detected (S3) so as to form light to be detected; and an interferometer for generating a planar wave and emitting same to the aspheric compensating lens (S1), and detecting, at the same time, an interference pattern formed by the reference light and the light to be detected so as to detect the aspheric surface to be detected (S3). By arranging the reference surface (S2) inside an aspheric compensating lens (S1), the structure of an aspheric detection optical path is simplified.
(FR) L'invention concerne également une lentille de compensation asphérique (S1) et un système et un procédé de détection optique asphérique. Le système de détection optique asphérique comprend : une lentille de compensation asphérique (S1) comprenant une surface de référence (S2) et au moins une surface de compensation, la surface de référence (S2) étant utilisée pour refléter la lumière incidente le long d'une ligne normale à la surface de référence (S2) puis la renvoyer le long du trajet d'origine de manière à former une lumière de référence; la lumière pénétrant à travers la surface de référence (S2) et au moins les surfaces de compensation formant une onde asphérique correspondant à une surface asphérique à détecter (S3), et la lumière dans l'onde asphérique est incidente le long d'une ligne normale à la surface asphérique, et revient le long du trajet de lumière d'origine après avoir été réfléchie par la surface asphérique à détecter (S3) de manière à former une lumière à détecter; et un interféromètre pour générer une onde plane et l'émettre à la lentille de compensation asphérique (S1), et détecter, en même temps, un motif d'interférence formé par la lumière de référence et la lumière à détecter de façon à détecter la surface asphérique à détecter (S3). En disposant la surface de référence (S2) à l'intérieur d'une lentille de compensation asphérique (S1), la structure d'un trajet optique de détection asphérique est simplifiée.
(ZH) 一种非球面补偿镜(S1)、非球面光学检测系统及方法。非球面光学检测系统包括:非球面补偿镜(S1),其包括参考面(S2)以及至少一个补偿面;参考面(S2)用于将沿着参考面(S2)法线入射的光线反射后原路返回,形成参考光;而透过参考面(S2)以及至少一个补偿面的光线形成与待测非球面(S3)相匹配的非球面波,非球面波中的光线沿非球面法线入射,并经待测非球面(S3)反射后沿原光路返回,形成待测光;干涉仪,用于产生平面波,并出射至非球面补偿镜(S1),同时检测参考光和待测光形成的干涉条纹,以对待测非球面(S3)进行检测。通过将参考面(S2)设置于非球面补偿镜(S1)的内部简化了非球面的检测光路结构。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)