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1. (WO2018035054) SPACE TRANSFORMERS FOR PROBE CARDS, AND ASSOCIATED SYSTEMS AND METHODS
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Pub. No.:    WO/2018/035054    International Application No.:    PCT/US2017/046791
Publication Date: 22.02.2018 International Filing Date: 14.08.2017
IPC:
G01R 1/067 (2006.01), G01R 1/073 (2006.01), G01R 3/00 (2006.01), G01R 31/02 (2006.01), G01R 31/28 (2006.01)
Applicants: TRANSLARITY, INC. [US/US]; 46575 Fremont Blvd. Fremont, CA 94538 (US)
Inventors: SPORCK, Alistair Nicholas; (US)
Agent: MIHAILOVIC, Jadran Adrian; (US)
Priority Data:
62/375,552 16.08.2016 US
Title (EN) SPACE TRANSFORMERS FOR PROBE CARDS, AND ASSOCIATED SYSTEMS AND METHODS
(FR) TRANSFORMATEURS D'ESPACE DESTINÉS À DES CARTES DE SONDE, ET SYSTÈMES ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Abstract: front page image
(EN)Systems and methods for testing semiconductor wafers are disclosed herein. In one embodiment, an apparatus for testing dies of a semiconductor wafer includes a composite space transformer for contacting the dies. The composite space transformer has a first space transformer having a first side configured to face the wafer, and a second side facing away from the wafer. The first space transformer has a substrate made of ceramic. The composite space transformer also has a second space transformer having a first side configured to face the wafer, and a second side facing the first side of the first space transformer. The second space transformer has a substrate made of glass. The composite space transformer has a space transformer interconnect to electrically connect the first space transformer and the second space transformer.
(FR)La présente invention concerne des systèmes et des procédés permettant de tester des tranches de semi-conducteur. Selon un mode de réalisation, un appareil permettant de tester les puces d'une tranche de semi-conducteur comprend un transformateur d'espace composite destiné à être en contact avec les puces. Le transformateur d'espace composite comprend un premier transformateur d'espace ayant un premier côté conçu pour faire face à la tranche, et un second côté opposé à la tranche. Le premier transformateur d'espace comporte un substrat en céramique. Le transformateur d'espace composite comprend également un second transformateur d'espace ayant un premier côté configuré pour faire face à la tranche, et un second côté faisant face au premier côté du premier transformateur d'espace. Le second transformateur d'espace a un substrat en verre. Le transformateur d'espace composite a une interconnexion de transformateur d'espace pour connecter électriquement le premier transformateur d'espace et le second transformateur d'espace.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)