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1. (WO2018034908) SYSTEM AND METHOD FOR GENERATING MULTI-CHANNEL TUNABLE ILLUMINATION FROM A BROADBAND SOURCE
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Pub. No.:    WO/2018/034908    International Application No.:    PCT/US2017/046084
Publication Date: 22.02.2018 International Filing Date: 09.08.2017
IPC:
G01N 21/31 (2006.01), G02B 27/28 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventors: HILL, Andy (Andrew); (US).
MANASSEN, Amnon; (IL).
BACHAR, Ohad; (IL)
Agent: MCANDREWS, Kevin; (US).
MORRIS, Elizabeth M. N.; (US)
Priority Data:
62/375,996 17.08.2016 US
15/387,180 21.12.2016 US
Title (EN) SYSTEM AND METHOD FOR GENERATING MULTI-CHANNEL TUNABLE ILLUMINATION FROM A BROADBAND SOURCE
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR PRODUIRE UN ÉCLAIREMENT RÉGLABLE MULTICANAUX À PARTIR D'UNE SOURCE À LARGE BANDE
Abstract: front page image
(EN)A metrology system includes an illumination source to generate an illumination beam, a multi-channel spectral filter, a focusing element to direct illumination from the single optical column to a sample, and at least one detector to capture the illumination collected from the sample. The multi-channel spectral filter includes two or more filtering channels having two or more channel beam paths. The two or more filtering channels filter illumination propagating along the two or more channel beam paths based on two or more spectral transmissivity distributions. The multi-channel spectral filter further includes a channel selector to direct at least a portion of the illumination beam into at least one selected filtering channel to filter the illumination beam. The multi-channel spectral filter further includes at least one beam combiner to combine illumination from the two or more filtering channels to a single optical column.
(FR)L'invention concerne un système de métrologie qui comprend une source d'éclairement pour produire un faisceau d'éclairement, un filtre spectral multicanaux, un élément de focalisation pour diriger l'éclairement depuis la colonne optique unique vers un échantillon, et au moins un détecteur pour capturer l'éclairement collecté à partir de l'échantillon. Le filtre spectral multicanaux comprend au moins deux canaux de filtrage ayant au moins deux trajets de faisceau de canal. Les au moins deux canaux de filtrage filtrent l'éclairement se propageant le long des au moins deux trajets de faisceau de canal sur la base de deux distributions de transmissivité spectrale ou plus. Le filtre spectral multicanaux comprend en outre un sélecteur de canal pour diriger au moins une partie du faisceau d'éclairement dans au moins un canal de filtrage sélectionné pour filtrer le faisceau d'éclairement. Le filtre spectral multicanaux comprend en outre au moins un combineur de faisceaux pour combiner l'éclairement des au moins deux canaux de filtrage à une seule colonne optique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)