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1. (WO2018034188) LIGHT MEASUREMENT DEVICE AND OPTICAL AXIS ADJUSTMENT METHOD
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Pub. No.:    WO/2018/034188    International Application No.:    PCT/JP2017/028608
Publication Date: 22.02.2018 International Filing Date: 07.08.2017
IPC:
G01B 9/02 (2006.01), G01J 3/45 (2006.01)
Applicants: NEC CORPORATION [JP/JP]; 7-1, Shiba 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1088001 (JP).
NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KAGAWA UNIVERSITY [JP/JP]; 1-1, Saiwai-cho, Takamatsu-shi, Kagawa 7608521 (JP)
Inventors: AKAGAWA Takeshi; (JP).
KUBO Masahiro; (JP).
ABE Katsumi; (JP).
TAKOH Kimiyasu; (JP).
ALTINTAS Ersin; (JP).
OHNO Yuji; (JP).
ARIYAMA Tetsuri; (JP).
ISHIMARU Ichiro; (JP)
Agent: MIYAZAKI Teruo; (JP).
OGATA Masaaki; (JP)
Priority Data:
2016-160516 18.08.2016 JP
Title (EN) LIGHT MEASUREMENT DEVICE AND OPTICAL AXIS ADJUSTMENT METHOD
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE LUMIÈRE ET PROCÉDÉ D'AJUSTEMENT D'AXE OPTIQUE
(JA) 光測定装置および光軸調整方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a light measurement device with which it is possible to maintain high measurement precision. This light measurement device has: a light source 11 for radiating light onto a measurement object 21; a branch part 31 for branching transmitted light or reflected light from the measurement object 21; a phase changing unit 41 for changing the phase of one of the branched lights; a phase fixing unit 51 for maintaining the phase of the other of the branched lights; an adjustment mechanism provided to the phase changing unit 41 or the phase fixing unit 51, the adjustment mechanism adjusting the direction in which the light advances; a multiplexer 61 for causing the lights emitted by each of the phase changing unit 41 and the phase fixing unit 51 to interfere with each other; a detection unit 71 for detecting the light that has been caused to interfere by the multiplexer 61; and a control unit 81 for controlling the adjustment mechanism, and adjusting the direction in which the light advances in the phase changing unit 41 or the phase fixing unit 51, on the basis of the brightness value of an interference image detected by the detection unit 71.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de mesure de lumière grâce auquel il est possible de maintenir une précision de mesure élevée. Le dispositif de mesure de lumière possède : une source de lumière (11) afin d'irradier de la lumière sur un objet de mesure (21); une partie ramification (31) pour la ramification de la lumière transmise ou de la lumière réfléchie depuis l'objet de mesure (21); une unité de changement de phase (41) qui permet de changer la phase d'une des lumières ramifiées; une unité de fixation de phase (51) afin de conserver la phase de l'autre des lumières ramifiées; un mécanisme d'ajustement disposé au niveau de l'unité de changement de phase (41) ou de l'unité de fixation de phase (51), le mécanisme d'ajustement ajustant le sens dans lequel progresse la lumière; un dispositif de multiplexage (61) pour amener les lumières émises par chacune de l'unité de changement de phase (41) et de l'unité de fixation de phase (51) à interférer l'une avec l'autre; une unité de détection (71) pour détecter la lumière qui a été amenée à interférer par le dispositif de multiplexage (61); une unité de commande (81) pour commander le mécanisme d'ajustement, et l'ajustement du sens dans lequel la lumière progresse dans l'unité de changement de phase (41) ou l'unité de fixation de phase (51), sur la base de la valeur de brillance d'une image d'interférence détectée par l'unité de détection (71).
(JA)高い測定精度を維持することを可能にした光測定装置を提供する。光測定装置は、被測定物21に光を照射する光源11と、被測定物21からの透過光または反射光を分岐する分岐部31と、分岐された一方の光の位相を変化させる位相変化部41と、分岐された他方の光の位相を維持する位相固定部51と、位相変化部41または位相固定部51に設けられ、光の進行方向を調整するための調整機構と、位相変化部41および位相固定部51のそれぞれから出力される光を干渉させる合波部61と、合波部61によって干渉した光を検出する検出部71と、検出部71で検出される干渉像の輝度値に基づいて調整機構を制御して、位相変化部41または位相固定部51における光の進行方向を調整する制御部81と、を有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)