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Pub. No.: WO/2018/034101 International Application No.: PCT/JP2017/026201
Publication Date: 22.02.2018 International Filing Date: 20.07.2017
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 85/86 (2006.01)
Applicants: SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD.[JP/JP]; 9, Kandasuda-cho 1chome, Chiyoda-ku Tokyo 1010041, JP
Inventors: MIMURA Hiroshi; JP
TODA Junya; JP
Agent: SAKAMOTO Tomohiro; JP
Priority Data:
(JA) 基板収納容器
Abstract: front page image
(EN) To provide a substrate-accommodating container in which the force by which a transported component is attached is enhanced. This invention is provided with: a container body 20 having an opening closed by a lid body, the container body 20 capable of accommodating a plurality of substrates; and a transported component 30 detachably attached to the container body 20. An attachment mechanism 40 includes a first attachment part 40A on the side of the opening of the container body 20 and a second attachment part 40B on the side away from the opening. The transported component 30 has an engaged part engaging with the attachment mechanism 40. The engaged part includes a first engaged part 36, which engages thorough becoming displaced in a prescribed direction, and a second engaged part 37, which engages through becoming displaced in a direction different from the prescribed direction.
(FR) La présente invention vise à fournir un récipient de réception de substrat dans lequel la force par laquelle un composant transporté est fixé est améliorée. La présente invention comprend : un corps de récipient (20) ayant une ouverture fermée par un corps de couvercle, le corps de récipient (20) permettant de recevoir une pluralité de substrats ; et un composant transporté (30) fixé amovible au corps de récipient (20). Un mécanisme de fixation (40) comprend une première partie de fixation (40A) sur le côté de l'ouverture du corps de récipient (20) et une seconde partie de fixation (40B) sur le côté opposé à l'ouverture. Le composant transporté (30) présente une partie en prise venant en prise avec le mécanisme de fixation (40). La partie en prise comprend une première partie en prise (36), qui vient en prise par le biais d'un déplacement dans une direction prescrite, et une seconde partie en prise (37), qui vient en prise par le biais d'un déplacement dans une direction différente de la direction prescrite.
(JA) 搬送部品の装着力を高めた基板収納容器を提供すること。 蓋体により閉鎖される開口部を有し、複数枚の基板を収納可能な容器本体20と、容器本体20に着脱自在に取付けられる搬送部品30と、を備え、取付機構40が、容器本体20の開口部側の第1取付部40Aと、開口部から離れる側の第2取付部40Bとを含むこと。また、搬送部品30は、取付機構40に係合する被係合部を有し、被係合部は、所定の方向に変位して係合する第1被係合部36と、所定の方向とは異なる方向に変位して係合する第2被係合部37とを含むこと。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)