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1. (WO2018033809) SURFACE ACOUSTIC WAVE RFID SENSOR FOR CHEMICAL DETECTION AND (BIO)MOLECULAR DIAGNOSTICS
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Pub. No.:    WO/2018/033809    International Application No.:    PCT/IB2017/054141
Publication Date: 22.02.2018 International Filing Date: 10.07.2017
IPC:
G01N 29/02 (2006.01), G01N 29/24 (2006.01), G10K 11/36 (2006.01), H01L 27/20 (2006.01), H01L 29/66 (2006.01), H03H 9/64 (2006.01)
Applicants: EPITRONIC HOLDINGS PTE. LTD. [SG/SG]; 100 Tras Street, #16-01 100 AM Singapore 079027 (SG)
Inventors: RAM, Ayal; (SG).
LICHTENSTEIN, Amir; (SG)
Priority Data:
62/375,711 16.08.2016 US
62/375,683 16.08.2016 US
62/375,697 16.08.2016 US
62/375,670 16.08.2016 US
62/375,656 16.08.2016 US
Title (EN) SURFACE ACOUSTIC WAVE RFID SENSOR FOR CHEMICAL DETECTION AND (BIO)MOLECULAR DIAGNOSTICS
(FR) CAPTEUR RFID À ONDES ACOUSTIQUES DE SURFACE POUR LA DÉTECTION CHIMIQUE ET LE DIAGNOSTIC (BIO)MOLÉCULAIRE
Abstract: front page image
(EN)The present application describes embodiments of a radio-frequency identification (RFID) sensor based on a combination of a surface acoustic wave (SAW) transducer and two-dimensional electron gas (2DEG) or two-dimensional hole gas (2DHG) conducting structure, and its use in chemical detection and (bio)molecular diagnostics. The SAW RFID sensor chip contains a piezoelectric substrate, on which a multilayer heterojunction structure is deposited. The heterojunction structure comprises at least two layers, a buffer layer and a barrier layer, wherein both layers are grown from III-V single-crystalline or polycrystalline semiconductor materials, such as Ga N/Al Ga N. Interdigitated transducers (IDTs) transducing SAWs are installed on top of the barrier layer. A 2DEG or 2DHG conducting channel is formed at the interface between the buffer and barrier layers and provides electron or hole current in the system between the non-ohmic (capacitively- coupled) source and drain contacts connected to the formed channel.
(FR)Des modes de réalisation de l'invention concernent un capteur d'identification par radiofréquence (RFID) basé sur la combinaison d'un transducteur à ondes acoustiques de surface (SAW) et d'une structure conductrice de gaz d'électrons bidimensionnel (2DEG) ou de gaz de trous bidimensionnel (2DHG), ainsi que l'utilisation de ce capteur dans des dispositifs de détection chimique et de diagnostic (bio)moléculaire. La puce de capteur RFID à ondes acoustiques de surface contient un substrat piézoélectrique sur lequel est déposée une structure à hétérojonction multicouche. La structure à hétérojonction comprend au moins deux couches, une couche tampon et une couche barrière. Les deux couches sont mises en croissance à partir de matériaux semiconducteurs monocristallins ou polycristallins III-V, tels que Ga N/Al Ga N. Des transducteurs interdigités (IDT) qui réalisent la transduction des ondes acoustiques de surface sont montés au-dessus de la couche barrière. Un canal conducteur de 2DEG ou de 2DHG est formé au niveau de l'interface entre les couches tampon et barrière et fournit un courant d'électrons ou de trous dans le système entre les bornes de source et de drain non ohmiques (à couplage capacitif) connectées au canal formé.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)