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1. (WO2018032532) IMAGE CONTOUR GENERATION METHOD AND DEVICE
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Pub. No.:    WO/2018/032532    International Application No.:    PCT/CN2016/097167
Publication Date: 22.02.2018 International Filing Date: 29.08.2016
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: DONGFANG JINGYUAN ELECTRON LIMITED [CN/CN]; Building 12, No.156, 4th Jinghai Road, Beijing Economic Development District Beijing 100176 (CN)
Inventors: MA, Weimin; (CN).
YU, Zongqiang; (CN)
Agent: SCIHEAD IP LAW FIRM; Room 1508, Huihua Commercial & Trade Building No. 80, XianLie Zhong Road,Yuexiu Guangzhou, Guangdong 510070 (CN)
Priority Data:
201610687770.7 18.08.2016 CN
Title (EN) IMAGE CONTOUR GENERATION METHOD AND DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE CONTOUR D'IMAGE
(ZH) 图像轮廓生成方法及装置
Abstract: front page image
(EN)An image contour generation method and device. The method comprises: generating, on the basis of design target information, a mask pattern (502), and generating, on the basis of a photolithography effect simulation, a reference image from the mask pattern (502); and generating, on the basis of edge detection of the reference image, a contour pattern (702) of the reference image, and acquiring, from a memory, a scanned image (802) of an integrated circuit to generate a contour pattern (902) of the scanned image, the contour pattern of the scanned image being a function of the contour pattern (702) of the reference image and the scanned image (802) of the integrated circuit.
(FR)La présente invention concerne un procédé et un dispositif de génération de contour d'image. Le procédé consiste : à générer, sur la base d'informations de cible de conception, un motif de masque (502), et à générer, sur la base d'une simulation d'effet de photolithographie, une image de référence à partir du motif de masque (502); et à générer, sur la base de la détection du bord de l'image de référence, un motif de contour (702) de l'image de référence, et à acquérir, à partir d'une mémoire, une image balayée (802) d'un circuit intégré afin de générer un motif de contour (902) de l'image balayée, le motif de contour de l'image balayée étant une fonction du motif de contour (702) de l'image de référence et de l'image balayée (802) du circuit intégré.
(ZH)一种生成图像轮廓的方法和装置,其中的方法包括:基于设计目标信息生成一个掩模图(502),在所述掩模图(502)上基于光刻效果仿真生成一个基准图像,基于在所述基准图像中的边缘探测生成一个基准图像轮廓图(702),从存储器中取出一个集成电路的扫描图像(802),生成一个扫描图像轮廓图(902),该扫描图像轮廓图是所述基准图像轮廓图(702)和集成电路的扫描图像(802)的函数。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)