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1. (WO2018031574) OPTICAL MEASUREMENT OF BUMP HEIGHT
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Pub. No.:    WO/2018/031574    International Application No.:    PCT/US2017/045950
Publication Date: 15.02.2018 International Filing Date: 08.08.2017
IPC:
G01B 11/02 (2006.01), G01B 9/04 (2006.01), G01B 11/24 (2006.01), G06T 1/00 (2006.01), G06T 7/60 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, CA 95035 (US)
Inventors: SOETARMAN, Ronny; (US).
XU, James, Jianguo; (US)
Agent: MCANDREWS, Kevin; (US).
MORRIS, Elizabeth M., N; (US)
Priority Data:
15/233,812 10.08.2016 US
15/338,838 31.10.2016 US
15/346,607 08.11.2016 US
15/346,594 08.11.2016 US
Title (EN) OPTICAL MEASUREMENT OF BUMP HEIGHT
(FR) MESURE OPTIQUE DE LA HAUTEUR D'UNE BOSSE
Abstract: front page image
(EN)A method of generating 3D information including: varying the distance between the sample and an objective lens of the optical microscope at pre-determined steps; capturing an image at each pre-determined step; determining a characteristic value of each pixel in each captured image; determining, for each captured image, the greatest characteristic value across a first portion of pixels in the captured image; comparing the greatest characteristic value for each captured image to determine if a surface of the sample is present at each pre-determined step; determining a first captured image that is focused on an apex of a bump of the sample; determining a second captured image that is focused on a first surface of the sample based on the characteristic value of each pixel in each captured image; and determining a first distance between the apex of the bump and the first surface.
(FR)L'invention concerne un procédé de génération d'informations 3D consistant à : modifier la distance entre l'échantillon et une lentille d'objectif du microscope optique à des étapes prédéfinies ; capturer une image à chaque étape prédéfinie ; déterminer une valeur caractéristique de chaque pixel dans chaque image capturée ; déterminer, pour chaque image capturée, la valeur caractéristique la plus élevée dans une première partie de pixels dans l'image capturée ; comparer la valeur caractéristique la plus élevée pour chaque image capturée afin de déterminer si une surface de l'échantillon est présente à chaque étape prédéfinie ; déterminer une première image capturée qui est focalisée sur un sommet d'une bosse de l'échantillon ; déterminer une seconde image capturée qui est focalisée sur une première surface de l'échantillon sur la base de la valeur caractéristique de chaque pixel dans chaque image capturée ; et déterminer une première distance entre le sommet de la bosse et la première surface.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)