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1. (WO2018029867) MOTOR, ACTUATOR, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE, AND FLAT DISPLAY MANUFACTURING DEVICE
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Pub. No.: WO/2018/029867 International Application No.: PCT/JP2016/085588
Publication Date: 15.02.2018 International Filing Date: 30.11.2016
IPC:
H02K 5/10 (2006.01)
Applicants: NSK LTD.[JP/JP]; 6-3, Ohsaki 1-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1418560, JP
Inventors: HIGUCHI, Hideya; JP
WATANABE, Hayao; JP
NAKAMURA, Tsuyoshi; JP
Agent: SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013, JP
Priority Data:
2016-15593308.08.2016JP
Title (EN) MOTOR, ACTUATOR, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE, AND FLAT DISPLAY MANUFACTURING DEVICE
(FR) MOTEUR, ACTIONNEUR, DISPOSITIF DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS, ET DISPOSITIF DE FABRICATION D’AFFICHAGE PLAT
(JA) モータ、アクチュエータ、半導体製造装置、及びフラットディスプレイ製造装置
Abstract: front page image
(EN) To provide a motor with which it is possible to more reliably prevent dust generated in the interior from leaking to the exterior. A motor, provided with: a stator provided with a coil and a stator core; a rotor disposed on the radially inner side of the stator, the rotor rotating relative to the stator; a stator housing provided with a first exhaust hole for exhausting air by suction, the stator housing fixing the stator; a first seal part at which, between the interior space in the stator housing and the exterior, the stator housing and a rotor housing face each other across a first gap around the entire periphery in the peripheral direction; and a first throttle part located at a position different from that of the first seal part, the first throttle part having a second gap linking the interior space and the first exhaust hole.
(FR) L’invention concerne un moteur grâce auquel une prévention plus fiable de fuite de la poussière générée à l’intérieur vers l’extérieur est possible. Elle concerne un moteur, comportant : un stator comportant une bobine et un noyau de stator ; un rotor disposé sur le côté radialement intérieur du stator, le rotor tournant par rapport au stator ; un logement de stator comportant un premier trou d’évacuation pour l’évacuation d’air par aspiration, le logement de stator fixant le stator ; une première partie étanche dans laquelle, entre l’espace intérieur dans le logement de stator et l’extérieur, le logement de stator et un logement de rotor se faisant face à travers un premier entrefer autour de toute la périphérie dans la direction périphérique ; et une première partie de régulation située à une position différente de celle de la première partie étanche, la première partie de régulation ayant un deuxième entrefer reliant l’espace intérieur et le premier trou d’évacuation.
(JA) 内部で発生する発塵が外部に流出するのをより確実に防ぐことができるモータを提供すること。モータは、コイル及びステータコアを備えるステータと、ステータの径方向内側に配置され、ステータに対して相対回転するロータと、吸引排気するための第1の排気穴を備えると共に、ステータを固定するステータハウジングと、ステータハウジングの内部空間と外部との間に、ステータハウジングとロータハウジングとが周方向の全周に亘り第1の間隙を隔てて対向する第1のシール部と、第1のシール部とは異なる位置にあり、内部空間と第1の排気穴とを繋げる第2の間隙を有する第1の絞り部と、を備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)