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1. (WO2018029863) DROPLET DETECTOR AND EUV LIGHT GENERATION DEVICE
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Pub. No.: WO/2018/029863 International Application No.: PCT/JP2016/073795
Publication Date: 15.02.2018 International Filing Date: 12.08.2016
IPC:
H05G 2/00 (2006.01)
Applicants: GIGAPHOTON INC.[JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
Inventors: YANAGIDA Tatsuya; JP
Agent: MORIMURA Yasuo; JP
Priority Data:
Title (EN) DROPLET DETECTOR AND EUV LIGHT GENERATION DEVICE
(FR) DÉTECTEUR DE GOUTTELETTES ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE EUV
(JA) ドロップレット検出器及び極端紫外光生成装置
Abstract: front page image
(EN) This droplet detector (8) may comprise: an irradiation unit (41) for emitting pulsed light (DPL) at a predetermined period and irradiating a plurality of pulsed light (DPL) onto a droplet (DL) moving in a detection region on a trajectory (OT); and a photo-reception unit (42) for receiving pulsed scattered light (PSL) generated by the plurality of pulsed light (DPL) irradiated onto the droplet (DL) being scattered by the droplet (DL).
(FR) Ce détecteur de gouttelettes (8) peut comprendre : une unité d'exposition (41) destinée à émettre une lumière pulsée (DPL) à une période prédéterminée et à exposer à une pluralité de lumière pulsée (DPL) une gouttelette (DL) se déplaçant dans une région de détection sur une trajectoire (OT); et une unité de photo-réception (42) destinée à recevoir la lumière diffusée pulsée (PSL) générée par la pluralité de lumières pulsées (DPL) auxquelles est exposée la gouttelette (DL) qui est diffusée par la gouttelette (DL).
(JA) ドロップレット検出器(8)は、所定周期でパルス光(DPL)を出射し、軌道(OT)上における検出領域を移動するドロップレット(DL)に対して複数のパルス光(DPL)を照射する照射部(41)と、ドロップレット(DL)に照射された複数のパルス光(DPL)がドロップレット(DL)に散乱されて生じるパルス散乱光(PSL)を受光する受光部(42)とを備えてもよい。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)