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1. (WO2018029151) SCANNING PROBE MICROSCOPE AND METHOD FOR EXAMINING A SAMPLE SURFACE
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Pub. No.:    WO/2018/029151    International Application No.:    PCT/EP2017/069959
Publication Date: 15.02.2018 International Filing Date: 07.08.2017
IPC:
G01Q 70/04 (2010.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Str. 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventors: BAUR, Christof; (DE).
EDINGER, Klaus; (DE).
BARALIA, Gabriel; (DE)
Agent: WEGNER, Hans; (DE).
HESS, Peter K.; (DE).
WUNSCH, Alexander; (DE).
DR. HAUPT, Christian; (DE).
BEST, Bastian; (DE).
MADER, Joachim; (DE)
Priority Data:
10 2016 214 658.0 08.08.2016 DE
Title (EN) SCANNING PROBE MICROSCOPE AND METHOD FOR EXAMINING A SAMPLE SURFACE
(FR) MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE ET PROCÉDÉ D'EXAMEN D'UNE SURFACE D'ÉCHANTILLON
Abstract: front page image
(EN)The present application relates to a scanning probe microscope (1200) for examining a sample surface (150), the scanning probe microscope comprising: (a) at least one first measuring probe (330) having a first securing region (305) and at least one first cantilever (310, 810, 1710, 1910), on which at least one first measuring tip (320) is arranged; (b) wherein the at least one first cantilever (310, 810, 1710, 1910) is configured to adopt an adjustable bending at a free end (350) of the at least one first cantilever (310, 810, 1919) before the beginning of a scanning process, which adjustable bending at least partly compensates for or intensifies a tilting of the first securing region (305) and/or a pre-bending of the at least one first cantilever (310, 810, 1710, 1910); and (c) at least one optical measuring device (1300) configured to determine the adjustable bending.
(FR)La présente invention concerne un microscope-sonde à balayage (1200) permettant l’examen d’une surface d'échantillon (150), le microscope-sonde à balayage comprenant : (a) au moins une première sonde de mesure (330) présentant une première zone de fixation (305) et au moins un premier élément en porte-à-faux (310, 810, 1710, 1910) sur lequel est disposée au moins une première pointe de mesure (320) ; (b) ledit premier élément en porte-à-faux (310, 810, 1710, 1910) est conçu pour adopter une courbure réglable au niveau d'une extrémité libre (350) dudit premier élément en porte-à-faux (310, 810, 1919) avant le début d'un processus de balayage, ladite courbure réglable compense au moins partiellement l'inclinaison de la première zone de fixation (305) ou intensifie son inclinaison et/ou une pré-courbure dudit premier élément en porte-à-faux (310, 810, 1710, 1910) ; et (c) au moins un dispositif de mesure optique (1300) conçu pour déterminer la courbure réglable.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)