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1. (WO2018026856) OVEN ENCLOSURE FOR OPTICAL COMPONENTS WITH INTEGRATED PURGE GAS PRE-HEATER
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Pub. No.:    WO/2018/026856    International Application No.:    PCT/US2017/044968
Publication Date: 08.02.2018 International Filing Date: 01.08.2017
IPC:
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventors: WOLL, Dirk; (US)
Agent: MCANDREWS, Kevin; (US).
MORRIS, Elizabeth M. N,; (US)
Priority Data:
62/371,046 04.08.2016 US
15/358,507 22.11.2016 US
Title (EN) OVEN ENCLOSURE FOR OPTICAL COMPONENTS WITH INTEGRATED PURGE GAS PRE-HEATER
(FR) ENCEINTE DE FOUR POUR COMPOSANTS OPTIQUES AVEC PRÉCHAUFFAGE INTÉGRÉ DU GAZ DE PURGE
Abstract: front page image
(EN)A cartridge in an oven enclosure includes a pre-heating feature for an incoming purge gas before the purge gas enters the space around an optical component, such as a nonlinear optical crystal, in an oven cell. The incoming purge gas can be pre-heated as it travels along a gas pathway around a cartridge. The cartridge can include a heater. The oven enclosure can have two windows positioned such that a laser beam can enter through one of the windows, pass through the optical component, and exit through another of the windows. A second harmonic beam can be generated with the optical component.
(FR)L'invention concerne une cartouche dans une enceinte de four qui comprend une caractéristique de préchauffage pour un gaz de purge entrant avant que le gaz de purge ne pénètre dans l'espace autour d'un composant optique, tel qu'un cristal optique non linéaire, dans une cellule de four. Le gaz de purge entrant peut être préchauffé au fur et à mesure qu'il se déplace le long d'un trajet de gaz autour d'une cartouche. La cartouche peut comprendre un dispositif de chauffage. L'enceinte du four peut avoir deux fenêtres positionnées de telle sorte qu'un faisceau laser peut pénétrer à travers l'une des fenêtres, traverser le composant optique et sortir par une autre des fenêtres. Un second faisceau harmonique peut être généré avec le composant optique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)