WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2018026543) ELECTRODE, ACCELERATOR COLUMN AND ION IMPLANTATION APPARATUS INCLUDING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.:    WO/2018/026543    International Application No.:    PCT/US2017/043277
Publication Date: 08.02.2018 International Filing Date: 21.07.2017
IPC:
H01J 37/08 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01), H05H 7/06 (2006.01)
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, Massachusetts 01930 (US)
Inventors: LUPOLI, Christopher; (US).
DURGIN, Sheri A.; (US).
MCGILLICUDDY, Daniel; (US).
THERIAULT, Victor J.; (US).
BECKER, Klaus; (US)
Agent: ROY, Ronnen; (US)
Priority Data:
15/228,158 04.08.2016 US
Title (EN) ELECTRODE, ACCELERATOR COLUMN AND ION IMPLANTATION APPARATUS INCLUDING SAME
(FR) ÉLECTRODE, COLONNE D'ACCÉLÉRATEUR ET APPAREIL D'IMPLANTATION IONIQUE COMPRENANT CETTE DERNIÈRE
Abstract: front page image
(EN)An electrode for manipulating an ion beam. The electrode may include an insert having an ion beam aperture to conduct the ion beam therethrough, the insert comprising a first electrically conductive material; a frame disposed around the insert and comprising a second electrically conductive material; and an outer portion, the outer portion disposed around the frame and comprising a third electrically conductive material, wherein the insert is reversibly detachable from the frame, and wherein the frame is reversibly attachable from the outer portion.
(FR)La présente invention porte sur une électrode permettant de manipuler un faisceau d'ions. L'électrode peut comprendre un insert ayant un orifice de faisceau d'ions pour conduire le faisceau d'ions à travers ce dernier, l'insert comprenant un premier matériau électroconducteur ; un cadre disposé autour de l'insert et comprenant un deuxième matériau électroconducteur ; et une partie externe, la partie externe étant disposée autour du cadre et comprenant un troisième matériau électroconducteur, l'insert pouvant être détaché de manière réversible du cadre et le cadre pouvant être fixé de manière réversible à partir de la partie externe.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)