JP2017028028 SIC HEATER

1. (WO2018025911) SIC HEATER

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Pub. No.:		WO/2018/025911		International Application No.:		PCT/JP2017/028028
Publication Date:		08.02.2018		International Filing Date:		02.08.2017

IPC:

H05B 3/14 (2006.01), C03C 3/06 (2006.01), C03C 3/085 (2006.01), C03C 3/087 (2006.01), C03C 3/089 (2006.01), C03C 3/091 (2006.01), C04B 35/569 (2006.01), C04B 41/86 (2006.01), H05B 3/12 (2006.01), H05B 3/20 (2006.01)

Applicants:

SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. [JP/JP]; 6-28, Rokuban-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 1028465 (JP)

Inventors:

NAGATOMO Hiroaki; (JP).
UCHIKAWA Yuki; (JP).
MURAKAMI Yoshihiko; (JP)

Agent:

SHIGA Masatake; (JP).
TAKAHASHI Norio; (JP).
SUZUKI Mitsuyoshi; (JP)

Priority Data:

2016-151911

02.08.2016

Title

(EN) SIC HEATER
(FR) DISPOSITIF DE CHAUFFAGE EN CARBURE DE SILICIUM (SIC)
(JA) ＳｉＣヒーター

Abstract:

(EN)This SiC heater is provided with: a heating element which comprises a silicon carbide sintered body in the form of a thin plate and an insulating coating film formed on the surface of the silicon carbide sintered body; a pair of electrodes for having an electric current pass through the heating element; and a heater base which holds the heating element from one surface side, while blocking the heat from the heating element. The insulating coating film is arranged on a surface of the silicon carbide sintered body, said surface being on the reverse side of the heater base-side surface, and has an electric specific resistance at room temperature of 10⁹ Ω·cm or more and a thermal expansion coefficient of from 2 × 10^-6/K to 6 × 10^-6/K (inclusive). The insulating coating film uses SiO₂ as a matrix, and contains 1% by weight to 35% by weight (inclusive) of a first additive component that contains at least one of B₂O₃ and Al₂O₃ and 1% by weight to 35% by weight (inclusive) of a second additive component that contains at least one of MgO and CaO.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de chauffage en SiC qui est pourvu : d'un élément chauffant qui comprend un corps fritté en carbure de silicium sous la forme d'une plaque mince et un film de revêtement isolant, formé sur la surface dudit corps fritté ; d'une paire d'électrodes servant au passage d'un courant électrique dans l'élément chauffant ; d'une base de dispositif de chauffage qui porte l'élément chauffant depuis un côté de surface tout en bloquant la chaleur provenant de l'élément chauffant. Le film de revêtement isolant est disposé sur une surface du corps fritté en carbure de silicium, ladite surface se trouvant sur le côté opposé de la surface côté base du dispositif de chauffage, et présente une résistance électrique spécifique, à la température ambiante, supérieure ou égale à 10⁹ Ω·cm et un coefficient de dilatation thermique compris entre 2 × 10^-6/K et 6 × 10^-6/K (inclus). Le film de revêtement isolant utilise du SiO₂ comme matrice et contient entre 1 à 35 % en poids (inclus) d'un premier constituant additif qui contient du B₂O₃ et/ou de l'Al₂O₃, et 1 à 35 % en poids (inclus) d'un second constituant additif qui contient du MgO et/ou du CaO.
(JA)このＳｉＣヒーターは、薄板状の炭化珪素焼結体と前記炭化珪素焼結体の表面に形成された絶縁被膜とを有する発熱体と、前記発熱体に通電するための一対の電極と、前記発熱体からの熱を断熱しつつ前記発熱体を一面側から保持するヒーターベースと、を備え、前記絶縁被膜は、前記炭化珪素焼結体の前記ヒーターベースと反対側の面に位置し、常温での電気比抵抗が１０^９Ω・ｃｍ以上であり、熱膨張率が２×１０^－６／Ｋ以上６×１０^－６／Ｋ以下であり、ＳｉＯ_２をマトリックスとし、Ｂ_２Ｏ_３およびＡｌ_２Ｏ_３の少なくとも１つを含む第１の添加成分を１重量％以上３５重量％以下含有し、ＭｇＯおよびＣａＯの少なくとも１つを含む第２の添加成分を１重量％以上３５重量％以下含有する。

Designated States:

AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).

Publication Language:	Japanese (JA)
Filing Language:	Japanese (JA)

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