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1. (WO2018025713) GAS CONTROL SYSTEM AND FILM FORMATION DEVICE PROVIDED WITH GAS CONTROL SYSTEM
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Pub. No.: WO/2018/025713 International Application No.: PCT/JP2017/026994
Publication Date: 08.02.2018 International Filing Date: 26.07.2017
IPC:
C23C 16/448 (2006.01) ,C23C 16/52 (2006.01) ,H01L 21/205 (2006.01)
Applicants: HORIBA STEC, CO., LTD.[JP/JP]; 11-5, Hokodate-cho, Kamitoba, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018116, JP
Inventors: NISHIZATO, Hiroshi; JP
MINAMI, Masakazu; JP
SAKAGUCHI, Yuhei; JP
Agent: NISHIMURA, Ryuhei; JP
Priority Data:
2016-15492805.08.2016JP
Title (EN) GAS CONTROL SYSTEM AND FILM FORMATION DEVICE PROVIDED WITH GAS CONTROL SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE RÉGULATION DE GAZ ET DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM MUNI D'UN SYSTÈME DE RÉGULATION DE GAZ
(JA) ガス制御システム及び該ガス制御システムを備えた成膜装置
Abstract: front page image
(EN) With respect to a gas control system for controlling the flow rate of a material gas in a mixed gas by adjusting the flow rate of a carrier gas, the purpose of the present invention is to prevent a control limit state from being ignored for a long time. The present invention provides a gas control system which introduces carrier gas into a tank 10 containing a material and delivers material gas generated by vaporization of the material from the tank 10 together with the carrier gas, the gas control system being provided with: a flow rate control unit 71 for controlling the flow rate of the material gas delivered from the tank 10 by adjusting the flow rate of the carrier gas introduced into the tank 10; and a control limit detection unit 72 for detecting a control limit state in which control of the flow rate of the material gas at a predetermined performance level cannot be guaranteed depending on the adjustment of the flow rate of the carrier gas by the flow rate control unit 71, and outputting that this state has occurred.
(FR) Par rapport à un système de régulation de gaz destiné à réguler le débit d'une matière gazeuse dans un gaz mélangé par ajustement du débit d'un gaz porteur, le but de la présente invention est d'empêcher l'ignorance d'un état de limite de régulation pendant une longue période. La présente invention concerne un système de régulation de gaz qui introduit un gaz porteur dans un réservoir 10 contenant une matière et qui distribue une matière gazeuse générée par vaporisation de la matière provenant du réservoir 10 conjointement avec le gaz porteur, le système de régulation de gaz étant pourvu : d'une unité de régulation 71 de débit destinée à réguler le débit de la matière gazeuse distribuée depuis le réservoir 10 par l'ajustement du débit du gaz porteur introduit dans le réservoir 10 ; et d'une unité de détection 72 de limite de régulation destinée à détecter un état de limite de régulation dans lequel la régulation du débit de la matière gazeuse à un niveau de performance prédéterminé ne peut pas être garantie sur base de l'ajustement du débit du gaz porteur par l'unité de régulation 71 de débit et destinée à émettre un signal indiquant que cet état s'est produit.
(JA) キャリアガスの流量を調節して混合ガス中の材料ガスの流量を制御するガス制御システムにおいて、前記制御限界状況が長時間放置されないようにする。材料が収容されたタンク10にキャリアガスを導入し、該材料が気化した材料ガスを前記キャリアガスとともに前記タンク10から導出するものであって、前記タンク10に導入されるキャリアガスの流量を調節することによって、前記タンク10から導出される材料ガスの流量を制御する流量制御部71と、該流量制御部71によるキャリアガスの流量調節によっては、前記材料ガスの所定性能での流量制御を担保できない状況である制御限界状況を検知し、その旨を出力する制御限界検知部72とを備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)