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1. (WO2018024871) MATCHING APPARATUS FOR SUBSTRATE CARRIERS
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Pub. No.:    WO/2018/024871    International Application No.:    PCT/EP2017/069759
Publication Date: 08.02.2018 International Filing Date: 04.08.2017
IPC:
H01L 21/687 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: MEYER BURGER (GERMANY) AG [DE/DE]; An der Baumschule 6-8 09337 Hohenstein-Ernstthal (DE)
Inventors: ZHAO, Jun; (DE).
ANSORGE, Erik; (DE)
Agent: KAILUWEIT & UHLEMANN; Patentanwälte Partnerschaft Mbb Bamberger Straße 49 01187 Dresden (DE)
Priority Data:
10 2016 214 445.6 04.08.2016 DE
Title (DE) ANPASSUNGSVORRICHTUNG FÜR SUBSTRATTRÄGER
(EN) MATCHING APPARATUS FOR SUBSTRATE CARRIERS
(FR) DISPOSITIF D'ADAPTATION POUR PORTE-SUBSTRAT
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Anpassungsvorrichtung (1, 1', 1") für einen Substratträger (2), wobei der Substratträger (2) Öffnungen (3) umfasst, die durch mehrere Stege (21, 22, 23, 24), aufweisend jeweils mindestens eine Substratauflagefläche (25), begrenzt sind, sowie die Verwendung der Anpassungsvorrichtung (1, 1', 1"). Die erfindungsgemäße Anpassungsvorrichtung (1, 1', 1") ist dadurch gekennzeichnet, dass sie mindestens ein in mindestens eine Öffnung (3) des Substratträgers (2) hineinragendes, eine Substratauflagefläche (12, 12', 12") aufweisendes Substratauflageelement (11, 11', 11") aufweist, und so in einem Kreuzungsbereich von Stegen (21, 22, 23, 24) des Substratträgers (2) angeordnet ist, dass die an die Substratauflagefläche (12, 12', 12") des mindestens einen Substratauflageelements (11, 11', 11") angrenzenden Substratauflageflächen (25) der dem mindestens einen Substratauflageelement (11, 11', 11") benachbarten Stege (21, 22, 23, 24) und die Substratauflagefläche (12, 12', 12") des mindestens einen Substratauflageelements (11, 11', 11") der Anpassungsvorrichtung (1, 1', 1") eine geschlossene Substratauflagefläche bilden.
(EN)The invention relates to an matching apparatus (1, 1’, 1’’) for a substrate carrier (2), wherein the substrate carrier (2) comprises openings (3) which are delimited by a plurality of webs (21, 22, 23, 24), each having at least one substrate support face (25), and also to the use of the matching apparatus (1, 1’, 1’’). The matching apparatus (1, 1’, 1’’) according to the invention is characterized in that it has at least one substrate support element (11, 11’, 11’’) which protrudes into at least one opening (3) of the substrate carrier (2) and has a substrate support face (12, 12’, 12’’), and is arranged in an intersection region of webs (21, 22, 23, 24) of the substrate carrier (2) such that the substrate support faces (25), which adjoin the substrate support face (12, 12’, 12’’) of the at least one substrate support element (11, 11’, 11’’), of the webs (21, 22, 23, 24), which are adjacent to the at least one substrate support element (11, 11’, 11’’), and the substrate support face (12, 12’, 12’’) of the at least one substrate support element (11, 11’, 11’’) of the matching apparatus (1, 1’, 1’’) form a closed substrate support face.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'adaptation (1, 1', 1") pour un porte-substrat (2), le porte-substrat (2) comprenant des ouvertures (3) qui sont délimitées par plusieurs parties formant pont (21, 22, 23, 24), présentant chacune au moins une surface d'appui de substrat (25), ainsi que l’utilisation dudit dispositif d'adaptation (1, 1', 1"). Le dispositif d'adaptation selon l’invention (1, 1', 1") est caractérisé en ce qu’il comprend au moins un élément d'appui de substrat (11, 11', 11"), présentant une surface d'appui de substrat (12, 12', 12") et faisant saillie dans au moins une ouverture (3) du porte-substrat (2), et est placé dans une zone de croisement de parties formant pont (21, 22, 23, 24) du porte-substrat (2), de telle sorte que les surfaces d'appui de substrat (25) des parties formant pont (21, 22, 23, 24) adjacentes audit au moins un élément d'appui de substrat (11, 11’, 11’’), qui se trouvent dans le prolongement de la surface d'appui de substrat (12, 12', 12") dudit au moins un élément d'appui de substrat (11, 11', 11"), et la surface d'appui de substrat (12, 12', 12") dudit au moins un élément d'appui de substrat (11, 11', 11") du dispositif d'adaptation (1, 1', 1") forment une surface d'appui de substrat fermée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)