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1. (WO2018024510) HOMOGENEOUS LINEAR EVAPORATION SOURCE WITH HEATER
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Pub. No.:    WO/2018/024510    International Application No.:    PCT/EP2017/068489
Publication Date: 08.02.2018 International Filing Date: 21.07.2017
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/26 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01)
Applicants: FLISOM AG [CH/CH]; Gewerbestrasse 16 8155 Niederhasli (CH)
Inventors: PFEIFFER, Reto; (CH)
Agent: PARRINI, Lorenzo; (CH)
Priority Data:
62/371,545 05.08.2016 US
Title (EN) HOMOGENEOUS LINEAR EVAPORATION SOURCE WITH HEATER
(FR) SOURCE D'ÉVAPORATION LINÉAIRE HOMOGÈNE PRÉSENTANT UN DISPOSITIF DE CHAUFFAGE
Abstract: front page image
(EN)A linear evaporation source (100) suited for the production of CIGS thin films for depositing a metal or semi-metal source material (75) on a substrate (50), the evaporation source (100) comprising: a crucible (201) comprising: a base (203); a plurality of walls (202) surrounding an interior region (204) of the crucible (201), the plurality of walls including a first end wall (202) spaced apart from a second end wall (2022) in a first direction (Y), wherein the interior region (204) includes a first outer region (2041), a second outer region (2042) and a central region (2043), the central region (2043) disposed between the first outer region (2041) and the second outer region (2042); and each of the first outer region (2041), the second outer region (2042), and the central region (2043) has a same width in the first direction (Y); and a first heater (230H) disposed in the base (203), the first heater (230H) configured to provide heat at a higher rate to the first outer region (2041) than to the central region (2043).
(FR)L’invention concerne une source d’évaporation linéaire (100) appropriée pour la production de films mince CIGS pour le dépôt d’un matériau métallique ou semi-métallique de départ (75) sur un substrat (50), la source d’évaporation (100) comprenant : un creuset (201) comprenant : une base (203) ; une pluralité de parois (202) entourant une région intérieure (204) du creuset (201), la pluralité de parois comprenant une première paroi d’extrémité (202) à l’écart d’une seconde paroi d’extrémité (2022) dans une première direction (Y), la région intérieure (204) comprenant une première région externe (2041), une seconde région externe (2042) et une région centrale (2043), la région centrale (2043) étant disposée entre la première région externe (2041) et la seconde région externe (2042) ; et chacune de la première région externe (2041), de la seconde région externe (2042), et de la région centrale (2043) ont une largeur identique dans la première direction (Y) ; et un premier dispositif de chauffage (230H) disposé dans la base (203), le premier dispositif de chauffage (230H) étant conçu pour fournir de la chaleur à un rendement plus élevé à la première région externe (2041) qu’à la région centrale (2043).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)